Conductive AFM Measurements on Carbon Nanotubes and Application for CNTFET Characterization : Advanced gate stack, source/drain, and channel engineering for Si-based CMOS: new materials, processes, and equipment

Rispal, L. ; Ruland, T. ; et al.

In: ECS TRANSACTIONS 3(2):441-448; Jg. 3 (2006) 2, S. 441-448

Konferenz

Titel:	Conductive AFM Measurements on Carbon Nanotubes and Application for CNTFET Characterization : Advanced gate stack, source/drain, and channel engineering for Si-based CMOS: new materials, processes, and equipment
Autor/in / Beteiligte Person:	Rispal, L. ; Ruland, T. ; Stefanov, Y. ; Wessely, F. ; Schwalke, U.
Link:	http://explore.bl.uk/primo_library/libweb/action/display.do?tabs=detailsTab&gathStatTab=true&ct=display&fn=search&doc=ETOCCN065491847&indx=1&recIds=ETOCCN065491847
Quelle:	ECS TRANSACTIONS 3(2):441-448; Jg. 3 (2006) 2, S. 441-448
Veröffentlichung:	2006
Medientyp:	Konferenz
ISBN:	978-1-56677-502-1 (print) ; 1-56677-502-7 (print)
Sonstiges:	Nachgewiesen in: British Library Document Supply Centre Inside Serials & Conference Proceedings Sprachen: English

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