Plasma hydrogenation of strain-relaxed SiGe/Si heterostructure for layer transfer
In: APPLIED PHYSICS LETTERS, Jg. 85 (2004), Heft 21, S. 4944-4946
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serialPeriodical
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Titel: |
Plasma hydrogenation of strain-relaxed SiGe/Si heterostructure for layer transfer
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Autor/in / Beteiligte Person: | Chen, P. ; Chu, P. K. ; Hochbauer, T. ; Nastasi, M. ; Buca, D. ; Manti, S. ; Theodore, N. D. ; Alford, T. L. ; Mayer, J. W. ; Loo, R. |
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Zeitschrift: | APPLIED PHYSICS LETTERS, Jg. 85 (2004), Heft 21, S. 4944-4946 |
Veröffentlichung: | 2004 |
Medientyp: | serialPeriodical |
ISSN: | 0003-6951 (print) |
Sonstiges: |
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