Entwicklung eines Triple-Gate-CMOS-Prozesses auf SOI-Material : Entwicklung eines Triple-Gate CMOS Prozesses auf SOI-Material
2004
Buch
- VI, 138 S., Ill., graph. Darst., 21 cm, 206 gr.
Zugriff:
Titel: |
Entwicklung eines Triple-Gate-CMOS-Prozesses auf SOI-Material : Entwicklung eines Triple-Gate CMOS Prozesses auf SOI-Material
|
---|---|
Autor/in / Beteiligte Person: | Lemme, Max Christian |
Reihe: | Berichte aus der Halbleitertechnik |
Veröffentlichung: | 2004 |
Medientyp: | Buch |
Umfang: | VI, 138 S., Ill., graph. Darst., 21 cm, 206 gr. |
ISBN: | 978-3-8322-2668-8 (print) ; 3-8322-2668-0 (print) |
Schlagwort: |
|
Sonstiges: |
|