Comparative study of LNO, LSCO and LSMO as electrode layers for microelectronic capacitors by dynamic SIMS

POLLAK, C ; REICHMANN, K ; et al.

In: Surface & coatings technology, Jg. 150 (2002), Heft 2-3, S. 119-124

academicJournal - print, 13 ref

Chemical solution-deposited multilayer systems of SrTiO3 (STO)/X/Pt/TiO2/SiO2/Si [where X = LaNiO3 (LNO), La0.5Sr0.5CoO3 (LSCO), La0.7Sr0.3MnO3 (LSMO)] were investigated by dynamic secondary-ion mass spectrometry (SIMS). The STO layer is intended to serve as a dielectric layer for a capacitor, the conducting layers X' are a buffer layer intended to eliminate fatigue effects, which usually occur at the Pt/STO interface. Depth profiles of the main components were obtained, revealing intense diffusion processes, which must have occurred during the deposition/crystallisation processes. Furthermore, Al impurities from the substrate, most probably originating from the Pt-sputter process, are preferentially found at the interfaces. Ti is found to diffuse from the (isolating) STO layer into the conductive X' oxide layers, where a region of constant concentration is observable in all three sample systems.

Titel:	Comparative study of LNO, LSCO and LSMO as electrode layers for microelectronic capacitors by dynamic SIMS
Autor/in / Beteiligte Person:	POLLAK, C ; REICHMANN, K ; HUTTER, H
Link:	E-Journal im Bestand der UB Hagen? View record from PASCAL Archive
Zeitschrift:	Surface & coatings technology, Jg. 150 (2002), Heft 2-3, S. 119-124
Veröffentlichung:	Lausanne: Elsevier, 2002
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 13 ref
ISSN:	0257-8972 (print)
Schlagwort:	General chemistry, physical chemistry Chimie générale, chimie physique Metallurgy, welding Métallurgie, soudage Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Domaines interdisciplinaires: science des materiaux; rheologie Cross-disciplinary physics: materials science; rheology Science des matériaux Materials science Méthodes de dépôt de films et de revêtements; croissance de films et épitaxie Methods of deposition of films and coatings; film growth and epitaxy Epitaxie en phase liquide; dépôt en phase liquide (phases fondues, solutions et couches superficielles sur des liquides) Liquid phase epitaxy; deposition from liquid phases (melts, solutions, and surface layers on liquids) Couche mince Thin films Céramique technique Technical ceramics Cerámica técnica Dépôt chimique Chemical deposition Depósito químico Dépôt phase liquide Liquid phase deposition Electrode Electrodes Etude expérimentale Experimental study Lanthane oxyde Lanthanum oxides Microscopie électronique balayage Scanning electron microscopy Multicouche Multilayers Nickelate Nickelates Platine Platinum SIMS Strontium oxyde Strontium oxides
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: Department of Analytical Chemistry, University of Technology Vienna, Getreidemarkt 9a/E151, 1060 Vienna, Austria ; Department of Chemical Technology of Inorganic Materials, Graz University of Technology, Stremayrgasse 16/III, 8010 Graz, Austria Rights: Copyright 2002 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Physics and materials science

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