Versiegelung mikroporöser Strukturen mit Gegendiffusions-CVD / Sealing of microporous structures with counterdiffusion CVD

DUMMANN, Gerrit ; PAHLKE, Thorsten ; et al.

In: Chemieingenieurtechnik 74(6):824-827; Jg. 74 (2002) 6, S. 824-827

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Titel:	Versiegelung mikroporöser Strukturen mit Gegendiffusions-CVD / Sealing of microporous structures with counterdiffusion CVD
Autor/in / Beteiligte Person:	DUMMANN, Gerrit ; PAHLKE, Thorsten ; AGAR, David W
Link:	Full Text Finder (Volltext) E-Journal im Bestand der UB Hagen? View record from PASCAL Archive
Quelle:	Chemieingenieurtechnik 74(6):824-827; Jg. 74 (2002) 6, S. 824-827
Veröffentlichung:	Weinheim: Wiley-VCH, 2002
Medientyp:	Konferenz
Umfang:	print, 5 ref
ISSN:	0009-286X (print)
Schlagwort:	Biotechnology Biotechnologies Energy Énergie Chemical engineering Génie chimique Metallurgy, welding Métallurgie, soudage Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Domaines interdisciplinaires: science des materiaux; rheologie Cross-disciplinary physics: materials science; rheology Science des matériaux Materials science Méthodes de dépôt de films et de revêtements; croissance de films et épitaxie Methods of deposition of films and coatings; film growth and epitaxy Dépôt chimique en phase vapeur (incluant le cvd activé par plasma, mocvd, etc.) Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced cvd, mocvd, etc.) Chimie Chemistry Chimie generale et chimie physique General and physical chemistry Etat colloïdal et états dispersés Colloidal state and disperse state Matériaux poreux Porous materials Sciences appliquees Applied sciences Genie chimique Réacteurs Reactors Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced CVD, MOCVD, etc.) Dépôt chimique phase vapeur Chemical vapor deposition Depósito químico fase vapor Etude expérimentale Experimental study Estudio experimental Microporosité Microporosity Microporosidad Microréacteur Microreactor Ozone Ozono Silice Silica Sílice O Si SiO2 Silane(tétraéthoxy)
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: German Original Material: INIST-CNRS Document Type: Conference Paper File Description: text Language: German Author Affiliations: Universität Dortmund, rachbereich Chemietechnik, Lehrstuhl für Technische Chemie B Emil-Figge-Strasse 66, 44221 Dortmund, Germany Rights: Copyright 2002 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Chemical engineering ; General chemistry and physical chemistry ; Physics and materials science

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