A MEMS-based monolithic electrostatic microactuator for ultra-low magnetic disk head fly height control

FANG, CHEN ; HUIKAI, XIE ; et al.

In: Selected Papers from the Eighth Joint Magnetism and Magnetic Materials-International Magnetics Conference (MMM-Intermag), San Antonio, TX, January 7-11, 2001IEEE transactions on magnetics 37(4):1915-1918

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A novel MEMS-based electrostatic actuator design is proposed for recording head fly height control below 10 nm. Different from prior work on MEMS-based electrostatic microactuators designed for magnetic hard disk drives (HDD), the proposed microactuator is fabricated monolithically with a conventional head/slider design. The actuator is micromachined into the same side as the head element on a slider with a modified CMOS-MEMS process. It has an extremely small size, light weight and a very simple structure. The head is suspended and actuated up and down by the actuator during recording process to maintain a constant fly height. A desired range and precision of actuation is achieved under control voltages of less than 30 V. A mechanical resonant frequency of over 100 kHz is obtained.

Titel:	A MEMS-based monolithic electrostatic microactuator for ultra-low magnetic disk head fly height control
Autor/in / Beteiligte Person:	FANG, CHEN ; HUIKAI, XIE ; FEDDER, Gary K
Link:	Volltext View record from PASCAL Archive
Quelle:	Selected Papers from the Eighth Joint Magnetism and Magnetic Materials-International Magnetics Conference (MMM-Intermag), San Antonio, TX, January 7-11, 2001IEEE transactions on magnetics 37(4):1915-1918
Veröffentlichung:	New York, NY: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2001
Medientyp:	Konferenz
Umfang:	print, 11 ref 1
ISSN:	0018-9464 (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Metallurgy, welding Métallurgie, soudage Condensed state physics Physique de l'état condensé Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Sciences appliquees Applied sciences Stockage et lecture de l'information Storage and reproduction of information Mémoires de masse magnétiques et optiques Magnetic and optical mass memories Other magnetic recording and storage devices (including tapes, disks, and drums) Actionneur électrostatique Electrostatic actuators Conception Design Diseño Dispositif magnétorésistif Magnetoresistive device Dispositivo magnetoresistivo Disque dur Hard disk Disco duro Disque magnétique Magnetic disk Disco magnético Etude expérimentale Experimental study Estudio experimental Fabrication Manufacturing Fabricación Interface tête disque Head disk interface Interfase cabeza disco Lecteur disque Disk drive Lector disco Microactionneur Microactuators Mémoire magnétique Magnetic storage Memoria magnética
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Conference Paper File Description: text Language: English Author Affiliations: Data Storage Systems Center, Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA 15213, United States ; Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA 15213, United States ; Department of Electrical and Computer Engineering and the Robotics Institute, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, PA 15213, United States Rights: Copyright 2002 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Electronics

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