The X-ray single crystal structure of [Me2In(acac)]2 and its use as a single-source precursor for the deposition of indium oxide thin films

PARK, Jin-Ho ; HORLEY, Graeme A ; et al.

In: Journal of material chemistry, Jg. 11 (2001), Heft 9, S. 2346-2349

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Crystalline dimethyl(pentane-2,4-dionato)indium(III), [Me2In(acac)]2, has been prepared by the reaction of dimethylindium methoxide and pentane-2,4-dione in toluene. An X-ray structure determination shows that in the solid state, the complex is dimeric. [Me2In(acac)]2 has been used as a single-source precursor for the deposition of cubic In2O3 thin films by low pressure metal organic chemical vapour deposition (LP-MOCVD) at temperatures ranging from 350 to 450°C, on borosilicate glass, Si(100) and GaAs(111) substrates. All the as-deposited indium oxide films are single phase, cubic-In2O3.

Titel:	The X-ray single crystal structure of [Me2In(acac)]2 and its use as a single-source precursor for the deposition of indium oxide thin films
Autor/in / Beteiligte Person:	PARK, Jin-Ho ; HORLEY, Graeme A ; O'BRIEN, Paul ; JONES, Anthony C ; MOTEVALLI, Majid
Link:	Full Text Finder (Volltext) View record from PASCAL Archive
Zeitschrift:	Journal of material chemistry, Jg. 11 (2001), Heft 9, S. 2346-2349
Veröffentlichung:	Cambridge: Royal Society of Chemistry, 2001
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 20 ref
ISSN:	0959-9428 (print)
Schlagwort:	Chemistry Chimie Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Etat condense: structure, proprietes mecaniques et thermiques Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Structure des liquides et des solides; cristallographie Structure of solids and liquids; crystallography Structure de solides cristallins particuliers Structure of specific crystalline solids Composés minéraux Inorganic compounds Complexes métalliques Metal complexes Domaines interdisciplinaires: science des materiaux; rheologie Cross-disciplinary physics: materials science; rheology Science des matériaux Materials science Méthodes de dépôt de films et de revêtements; croissance de films et épitaxie Methods of deposition of films and coatings; film growth and epitaxy Dépôt chimique en phase vapeur (incluant le cvd activé par plasma, mocvd, etc.) Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced cvd, mocvd, etc.) Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced CVD, MOCVD, etc.) Composé minéral Basse pression Low pressure Caractérisation Characterization Caracterización Coordinat organique Organic ligand Ligando orgánico Couche mince Thin films Croissance cristalline en phase vapeur Crystal growth from vapors Dicétone Diketone Dicetona Diffraction RX XRD Dépôt chimique phase vapeur CVD Etude expérimentale Experimental study Indium Complexe Indium Complexes Indium Composé organique Indium Organic compounds Indium oxyde Indium oxides Méthode MOCVD MOCVD Précurseur Precursor Réseau cubique Cubic lattices Structure cristalline Crystal structure Structure moléculaire Molecular structure Acétylacétone In O In2O3 Indium(diméthyl) complexe
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: Department of Chemistry, Imperial College of Science, Technology and Medicine, South Kensington, London, SW7 2AY, United Kingdom ; Epichem Ltd, Power Road, Bromborough, Wirral, CH62 3QF, United Kingdom ; Department of Chemistry, Queen Mary and Westfield College, Mile End Road, London, E1 4NS, United Kingdom Rights: Copyright 2002 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Physics and materials science ; Physics of condensed state: structure, mechanical and thermal properties

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