Einzeltreffer — DigiBib

Pyrolytic carbon films were deposited on boron nitride substrates during plug-flow of a methane/argon gas mixture through a hot-wall tubular reactor at 100 kPa and 1100°C. Of particular interest is the time resolved development of chemical reactions within the free reactor volume, which is projected to the formed structures along the reactor axis. Spatially resolved electron spin resonance (ESR) is used to characterize the deposited films. The width and asymmetry of the ESR line varies monotonously along the reactor axis by more than one order of magnitude within 25 mm.

Titel:	Monitoring chemical vapour deposition of pyrocarbon by electron spin resonance
Autor/in / Beteiligte Person:	BUSCHHAUS, C ; DORMANN, E ; HÜTTINGER, K. J
Link:	E-Journal im Bestand der UB Hagen? View record from PASCAL Archive
Zeitschrift:	Synthetic metals, Jg. 114 (2000), Heft 3, S. 325-329
Veröffentlichung:	Amsterdam; Lausanne; New York, NY: Elsevier Science, 2000
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 14 ref
ISSN:	0379-6779 (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Condensed state physics Physique de l'état condensé Polymers, paint and wood industries Polymères, industries des peintures et bois Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Domaines interdisciplinaires: science des materiaux; rheologie Cross-disciplinary physics: materials science; rheology Science des matériaux Materials science Méthodes de dépôt de films et de revêtements; croissance de films et épitaxie Methods of deposition of films and coatings; film growth and epitaxy Dépôt chimique en phase vapeur (incluant le cvd activé par plasma, mocvd, etc.) Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced cvd, mocvd, etc.) Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced CVD, MOCVD, etc.) Dépôt chimique phase vapeur CVD Etude expérimentale Experimental study Largeur raie Line widths Monitorage Monitoring Monitoreo Méthode paroi chaude Hot wall growth Método pared caliente Pyrocarbone Pyrolytic carbon RPE ESR Réacteur tubulaire Tubular reactor Reactor tubular Réaction chimique Chemical reactions Variation angulaire Angular variation Variación angular C Substrat BN
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: Physikalisches Institut, Universität Karlsruhe (TH), 76128 Karlsruhe, Germany ; Institut für Chemische Technik, Universität Karlsruhe (TH), 76128 Karlsruhe, Germany Rights: Copyright 2000 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Physics and materials science

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Monitoring chemical vapour deposition of pyrocarbon by electron spin resonance