Micromachined SU8 negative resist for MMIC applications on low resistivity CMOS substrates

ELGAID, Khaled ; MCCLOY, David A ; et al.

In: Proceedings of the 28th International Conference on Micro- and Nano-Engineering, September 16-19, 2002, Lugano, SwitzerlandMicroelectronic engineering 67-68:417-421; Jg. 67-68 (2003) S. 417-421

Konferenz - print, 4 ref

Wie komme ich dran?

In this work we report a novel method of fabricating low loss coplanar waveguides (CPW) on CMOS grade low resistivity silicon (2Ω-cm) substrates using a micro-machined SU8 negative resist as a dielectric interface layer. S parameter measurements up 110 GHz and electromagnetic analysis was used to determine the performance of the CPW on the SU8 dielectric interface layer. An attenuation of less than 0.6 dB/mm at 60 GHz was achieved.

Titel:	Micromachined SU8 negative resist for MMIC applications on low resistivity CMOS substrates
Autor/in / Beteiligte Person:	ELGAID, Khaled ; MCCLOY, David A ; THAYNE, Iain G
Link:	E-Journal im Bestand der UB Hagen? View record from PASCAL Archive
Quelle:	Proceedings of the 28th International Conference on Micro- and Nano-Engineering, September 16-19, 2002, Lugano, SwitzerlandMicroelectronic engineering 67-68:417-421; Jg. 67-68 (2003) S. 417-421
Veröffentlichung:	Amsterdam: Elsevier Science, 2003
Medientyp:	Konferenz
Umfang:	print, 4 ref
ISSN:	0167-9317 (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Sciences appliquees Applied sciences Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Circuits intégrés Integrated circuits Conception. Technologies. Analyse fonctionnement. Essais Design. Technologies. Operation analysis. Testing Fabrication microélectronique (technologie des matériaux et des surfaces) Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Circuits électriques, optiques et optoélectroniques Electric, optical and optoelectronic circuits Propriétés des circuits Circuit properties Circuits hyperfréquences, circuits intégrés hyperfréquences, lignes de transmission hyperfréquences, circuits à ondes submillimétriques Microwave circuits, microwave integrated circuits, microwave transmission lines, submillimeter wave circuits Circuits optiques et optoélectroniques Optical and optoelectronic circuits Optique intégrée. Fibres et guides d'onde optiques Integrated optics. Optical fibers and wave guides Circuit MMIC MMIC Couche interfaciale Interfacial layer Capa interfacial Diélectrique Dielectric materials Dieléctrico Evaluation performance Performance evaluation Evaluación prestación Fabrication microélectronique Microelectronic fabrication Fabricación microeléctrica Guide onde coplanaire Coplanar waveguides Micromachine Micromáquina Paramètre s s parameter Parámetro s Résist négatif Negative resist Resistencia negativa Technologie MOS complémentaire Complementary MOS technology Tecnología MOS complementario CPW lines on low resistivity silicon Micromachined CPW on Si SU8 Negative resist
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Conference Paper File Description: text Language: English Author Affiliations: Nanoelectronics Research Centre, Department of Electronics and Electrical Engineering, University of Glasgow, Glasgow G12 8LT, United Kingdom Rights: Copyright 2003 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Electronics

Klicken Sie ein Format an und speichern Sie dann die Daten oder geben Sie eine Empfänger-Adresse ein und lassen Sie sich per Email zusenden.

BibTeX Citavi, JabRef, u.a.
(Literaturverwaltung)

PDF kein Volltext!
(Merkzettel, Notizen)

RIS Endnote, Citavi u.a.
(Literaturverwaltung)

MODS
(XML zur Weiterverarbeitung)

oder

Wählen Sie das für Sie passende Zitationsformat und kopieren Sie es dann in die Zwischenablage, lassen es sich per Mail zusenden oder speichern es als PDF-Datei.

Gewünschter Zitations-Stil:

oder

Bitte prüfen Sie, ob die Zitation formal korrekt ist, bevor Sie sie in einer Arbeit verwenden. Benutzen Sie gegebenenfalls den "Exportieren"-Dialog, wenn Sie ein Literaturverwaltungsprogramm verwenden und die Zitat-Angaben selbst formatieren wollen.