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A novel approach for cost effective fabrication, assembly, and packaging of radio-frequency microelectromechanical systems (RF MEMS) capacitive switches using flexible circuit processing techniques is reported. The key feature of this approach is the use of most commonly used flexible circuit film, Kapton-E polyimide film, as the movable switch membrane. The physical dimensions of these switches are in the mesoscale range. For example, electrode area and gap height of a capacitive shunt switch on coplanar waveguide are2 x 1 mm2 and 43 μm, respectively. Pull-down voltage is in the range of 90-100 V. In the ON state (up-position), the insertion loss is less than 0.3-0.4 dB up to 30 GHz. In OFF state (down-position), the isolation value is about 15 dB at 12 GHz and increases to 36 dB at 30 GHz. These switches are uniquely suitable for batch integration with printed circuits and antennas on laminate substrates.

Titel:	Fabrication, assembly, and testing of RF MEMS capacitive switches using flexible printed circuit technology
Autor/in / Beteiligte Person:	RAMADOSS, Ramesh ; LEE, Simone ; LEE, Y. C ; BRIGHT, V. M ; GUPTA, K. C
Link:	Volltext View record from PASCAL Archive
Zeitschrift:	IEEE transactions on advanced packaging, Jg. 26 (2003), Heft 3, S. 248-254
Veröffentlichung:	Piscataway, NY: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2003
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 19 ref
ISSN:	1521-3323 (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Sciences appliquees Applied sciences Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Circuits intégrés Integrated circuits Conception. Technologies. Analyse fonctionnement. Essais Design. Technologies. Operation analysis. Testing Dispositifs micro- et nanoélectromécaniques (mems/nems) Micro- and nanoelectromechanical devices (mems/nems) Circuits électriques, optiques et optoélectroniques Electric, optical and optoelectronic circuits Propriétés des circuits Circuit properties Circuits électroniques Electronic circuits Circuits de commutation, de multiplexage, à capacités commutées Switching, multiplexing, switched capacity circuits Circuits optiques et optoélectroniques Optical and optoelectronic circuits Optique intégrée. Fibres et guides d'onde optiques Integrated optics. Optical fibers and wave guides Antenne imprimée Printed antenna Antena imprimida Circuit imprimé souple Flexible printed circuit board Circuito imprimido flexible Circuit imprimé Printed circuit Circuito imprimido Commutateur Selector switch Conmutador Commutation circuit Circuit switching Conmutación circuito Dispositif microélectromécanique Microelectromechanical device Dispositivo microelectromecánico Guide onde coplanaire Coplanar waveguides Matériau stratifié Stratified material Material estratificado Packaging électronique Electronic packaging Packaging electrónico Perte insertion Insertion loss Pérdida inserción Radiofréquence Radiofrequency Radiofrecuencia Shunt Système RF RF systems CPW shunt switch Kapton-E polyimide film RF MEMS switches flexible printed circuits printed circuit MEMS
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: Department of Electrical and Computer Engineering, Auburn University, Auburn, AL 36849-5201, United States ; Department of Mechanical Engineering, University of Colorado, Boulder, CO 80309-0427, United States ; Department of Electrical and Computer Engineering, University of Colorado, Boulder, CO 80309-0425, United States Rights: Copyright 2003 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Electronics

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Fabrication, assembly, and testing of RF MEMS capacitive switches using flexible printed circuit technology