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This study examines the airflow and particle characteristics of a front opening unified pod/load port unit (FOUP/LPU) minienvironment system. The airflow and particle number were measured by using a three-dimensional ultrasonic anemometer and an He-Ne laser airborne particle counter, respectively. A large vortex is produced below an extracted wafer in the minienvironment. This vortex extends to the lower part of the minienvironment and reaches the door opener of the LPU. Particles produced on the moving parts of the LPU were carried to the back surface of the wafer, which were at the lowest position (the first wafer). How the open ratio of the perforated plate of the minienvironment affects the pressure difference between the minienvironment and surrounding environment and the airflow through the minienvironment was determined. The thoroughly elucidated information is useful for mitigating contamination when planning a fabrication line and designing a production tool.

Titel:	Experimental study of airflow and particle characteristics of a 300-mm POUP/LPU minienvironment system
Autor/in / Beteiligte Person:	HU, Shih-Cheng ; WU, Tzong-Ming
Link:	Volltext View record from PASCAL Archive
Zeitschrift:	IEEE transactions on semiconductor manufacturing, Jg. 16 (2003), Heft 4, S. 660-667
Veröffentlichung:	New York, NY: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2003
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 8 ref
ISSN:	0894-6507 (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Sciences appliquees Applied sciences Essais, mesure, bruit et fiabilité Testing, measurement, noise and reliability Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Fabrication microélectronique (technologie des matériaux et des surfaces) Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Anémomètre Anemometer Anemómetro Compteur particule Particle counter Contador partícula Contamination Contaminación Dispositif expérimental Experimental device Dispositivo experimental Dispositif ultrason Ultrasonic devices Ecoulement air Air flow Flujo aéreo Etude expérimentale Experimental study Estudio experimental Fabrication microélectronique Microelectronic fabrication Fabricación microeléctrica Interface équipement Equipment interfaces Laser hélium néon Helium neon lasers Local contaminé Contaminated room Local contaminado Modèle 3 dimensions Three dimensional model Modelo 3 dimensiones Méthode contrôle Control method Método control Méthode mesure Measurement method Método medida Nombre particule Particle number Número partícula Ouverture Opening Abertura Pastille électronique Wafer Pastilla electrónica Précipitation particule Particle precipitation Precipitación partícula Qualité environnementale Environmental quality Calidad ecológica Résultat expérimental Experimental result Resultado experimental Salle blanche Clean room Sala blanca Surface arrière Back surface Superficie atrás Zone frontale End region Zona frontal Contamination control front opening unified pod (FOUP) load port unit (LPU) minienvironment
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: Department of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering, National Taipei University of Technology 1, Taipei 106, Tawain, Province of China ; Mechanical Industry Research Laboratories, Industrial Technology Research Institute, Hsinchu 310, Tawain, Province of China Rights: Copyright 2004 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Electronics

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Experimental study of airflow and particle characteristics of a 300-mm POUP/LPU minienvironment system