Highly (100)-oriented Eu-doped PZT thin films on sol-gel derived (100)-textured LaNiO3/Si substrates

YU, Y. J ; WANG, F. P ; et al.

In: Applied physics. A, Materials science & processing (Print), Jg. 78 (2004), Heft 5, S. 733-736

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(100)-oriented LaNiO3 (LNO) thin films were grown on Si substrates by a sol-gel method followed by a rapid thermal process at temperatures ranging from 650 °C to 800 °C. The films produced at 700 °C had a resistivity of 1.79 mΩ cm and could be used as bottom electrodes in the fabrication of ferroelectric capacitors on Si. Subsequently, a sol-gel derived Eu-doped Pb(Zr0.52,Ti0.48)O3 (PEZT) thin film with a thickness of 130 nm prepared on the LNO electrode was found to have a (100)-oriented texture. Possible reasons for the high degree of (100) orientation in PEZT thin films are given. Good ferroelectric performance was obtained for Au/PEZT/LNO capacitors. The remnant polarization (2Pr) was found to be 22 μC/cm2 at a coercive electric field (Ec) of 134kV/cm. After 1011 polarization reversals, Pr decreased by only 15%.

Titel:	Highly (100)-oriented Eu-doped PZT thin films on sol-gel derived (100)-textured LaNiO3/Si substrates
Autor/in / Beteiligte Person:	YU, Y. J ; WANG, F. P ; CHAN, H. L. W ; ZHAO, L. C
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Zeitschrift:	Applied physics. A, Materials science & processing (Print), Jg. 78 (2004), Heft 5, S. 733-736
Veröffentlichung:	Berlin: Springer, 2004
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 21 ref
ISSN:	0947-8396 (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Optics Optique Condensed state physics Physique de l'état condensé Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Etat condense: structure electronique, proprietes electriques, magnetiques et optiques Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Propriétés et matériaux diélectriques, piézoélectriques et ferroélectriques Dielectrics, piezoelectrics, and ferroelectrics and their properties Ferroélectricité et antiferroélectricité Ferroelectricity and antiferroelectricity Structure des domaines; hystérésis Domain structure; hysteresis Domaines interdisciplinaires: science des materiaux; rheologie Cross-disciplinary physics: materials science; rheology Science des matériaux Materials science Méthodes de dépôt de films et de revêtements; croissance de films et épitaxie Methods of deposition of films and coatings; film growth and epitaxy Composé minéral Inorganic compounds Métal transition composé Transition element compounds Addition europium Europium additions Application Aplicación Composé quaternaire Quaternary compounds Condensateur ferroélectrique Ferroelectric capacitors Conductivité électrique Electrical conductivity Couche mince Thin films Diffraction RX XRD Dopage Doping Effet champ électrique Electric field effects Epaisseur Thickness Etude expérimentale Experimental study Force coercitive Coercive force Hystérésis ferroélectrique Ferroelectric hysteresis Histéresis ferroeléctrica Impureté Impurities Matériau ferroélectrique Ferroelectric materials PZT Plomb titanate Lead titanates Plomb zirconate Lead zirconates Procédé sol gel Sol-gel process Texture 7780D O Pb Ti Zr
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: School of Materials Science and Engineering, Harbin Institute of Technology, 150001 Harbin, China ; Department of Applied Physics, Hong Kong Polytechnic University, Hong-Kong Rights: Copyright 2004 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Physics and materials science ; Physics of condensed state: electronic structure, electrical, magnetic and optical properties

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