Si3N4 recubierto con diamante CVD mediante filamento caliente y plasma generado por microondas

Diamond coating on Si3N4 by hot filament and microwave plasma assisted CVD

In: VII Reunion nacional de materiales, 16-18 octubre 2002, MadridBoletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio 43(2):473-476; Jg. 43 (2004) 2, S. 473-476

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Wie komme ich dran?

Silicon nitride substrates have been diamond coated by hot-filament (home made) and microwave plasma (commercial) CVD reactors. The importance of Si3N4 as substrate relies on its favoured adhesion to the diamond film, as required in wear applications. Diamond coatings have been characterized by μ-Raman spectroscopy, X-ray diffraction, scanning electron microscopy and atomic force microscopy. The diamond film/substrate adhesion has been evaluated by performing Brale indentations at different loads. The diamond films grown by hot filament matched those grown by microwave plasma in terms of morphology and diamond quality, only loosing in uniformity. Spherical substrates have also been used to compare the films coated by both techniques.

Titel:	Si3N4 recubierto con diamante CVD mediante filamento caliente y plasma generado por microondas
Verantwortlichkeitsangabe:	Diamond coating on Si3N4 by hot filament and microwave plasma assisted CVD
Autor/in / Beteiligte Person:	TALLAIRE, A ; OLIVEIRA, F. J ; FERNANDES, A. J. S ; COSTA, F. M ; BELMONTE, M ; SILVA, R. F
Link:	View record from PASCAL Archive
Quelle:	VII Reunion nacional de materiales, 16-18 octubre 2002, MadridBoletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio 43(2):473-476; Jg. 43 (2004) 2, S. 473-476
Veröffentlichung:	Madrid: Sociedad Española de Cerámica y Vidrio, 2004
Medientyp:	Konferenz
Umfang:	print, 13 ref
ISSN:	0366-3175 (print)
Schlagwort:	Chemical industry parachemical industry Industrie chimique et parachimique Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Domaines interdisciplinaires: science des materiaux; rheologie Cross-disciplinary physics: materials science; rheology Science des matériaux Materials science Matériaux particuliers Specific materials Fullerènes et matériaux apparentés; diamants, graphite Fullerenes and related materials; diamonds, graphite Méthodes de dépôt de films et de revêtements; croissance de films et épitaxie Methods of deposition of films and coatings; film growth and epitaxy Dépôt chimique en phase vapeur (incluant le cvd activé par plasma, mocvd, etc.) Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced cvd, mocvd, etc.) Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced CVD, MOCVD, etc.) Non métal Nonmetals Adhérence Adhesion Caractérisation Characterization Caracterización Croissance cristalline en phase vapeur Crystal growth from vapors Diamant Diamonds Diffraction RX XRD Etude expérimentale Experimental study Fil chaud Hot wire Hilo caliente Microscopie force atomique Atomic force microscopy Microscopie électronique balayage Scanning electron microscopy Morphologie Morphology Méthode PECVD PECVD Propriété mécanique Mechanical properties Revêtement Coatings Silicium Nitrure Silicon Nitrides Spectre Raman Raman spectra C N Si Si3N4 Substrat Si3N4 HFCVD MPCVD diamond silicon nitride
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: Spanish; Castilian Original Material: INIST-CNRS Document Type: Conference Paper File Description: text Language: Spanish; Castilian Author Affiliations: Departamento de Engenharia Cerâmica e do Vidro, CICECO, Universidade de Aveiro, 3810-193 Aveiro, Portugal ; Departamento de Física, Universidade de Aveiro, 3810-193 Aveiro, Portugal Rights: Copyright 2005 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Physics and materials science

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