Enlèvement de particules par laser impulsionnel
In: UVX 2004. 7ième Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X : Applications et développements récentsJournal de physique. IV 127:145-149; Jg. 127 (2005) S. 145-149
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L'enlèvement de particules par laser impulsionnel (ns) est étudié expérimentalement. Des efficacités supérieures à 90% sont obtenues pour l'enlèvement de particules de polystyrene (PS) de diamètre 385 nm sur des surfaces de Si et Cu. Les fluences seuils d'enlèvement sont déterminées et comparées à une modélisation de l'expansion thermique du substrat. L'interprétation est discutée en terme de mécanismes fondamentaux envisageables responsables de l'éjection des particules.
Titel: |
Enlèvement de particules par laser impulsionnel
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Verantwortlichkeitsangabe: | Particle removal by laser pulse |
Autor/in / Beteiligte Person: | GROJO, D ; DELAPORTE, P ; CROS, A |
Link: | |
Quelle: | UVX 2004. 7ième Colloque sur les Sources cohérentes et incohérentes UV, VUV et X : Applications et développements récentsJournal de physique. IV 127:145-149; Jg. 127 (2005) S. 145-149 |
Veröffentlichung: | Les Ulis: EDP sciences, 2005 |
Medientyp: | Konferenz |
Umfang: | print, 9 ref |
ISSN: | 1155-4339 (print) |
Schlagwort: |
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Sonstiges: |
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