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This paper presents the design and development of 3-bit polymer MEMS phase shifters for wireless communication applications. Polymer membrane and ferroelectric (barium strontium titanate) thin film on silicon substrates are employed for device fabrication. BI-CPW design and fabrication processes of ferroelectric and polymer materials compatible with current silicon technology are investigated. Mechanical operation with low DC bias voltage and scattering parameters of a polymer MEMS switch and phase delay lines are measured. The small size and low pull down voltage demonstrated in this research are promising characteristics for commercial applications of 3-bit polymer MEMS phase shifters with low cost.

Titel:	Design and development of 3-bit polymer MEMS phase shifters
Autor/in / Beteiligte Person:	YOON, Hargsoon ; JI, Taeksoo ; VARADAN, Vijay K
Link:	View record from PASCAL Archive
Quelle:	Smart electronics, MEMS, bioMEMS, and nanotechnology (San Diego CA, 7-10 March 2005)SPIE proceedings series :61-68
Veröffentlichung:	Bellingham WA: SPIE, 2005
Medientyp:	Konferenz
Umfang:	print, 4 ref
Schlagwort:	Electronics Electronique Metrology and instrumentation Métrologie et instrumentation Optics Optique Physics Physique Telecommunications Télécommunications Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Sciences appliquees Applied sciences Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Dispositifs micro- et nanoélectromécaniques (mems/nems) Micro- and nanoelectromechanical devices (mems/nems) Circuits électriques, optiques et optoélectroniques Electric, optical and optoelectronic circuits Propriétés des circuits Circuit properties Circuits électroniques Electronic circuits Circuits de conditionnement de caractéristiques des signaux (incluant les circuits à retard) Circuits of signal characteristics conditioning (including delay circuits) Circuits de commutation, de multiplexage, à capacités commutées Switching, multiplexing, switched capacity circuits Basse tension Low voltage Baja tensión Commutateur Selector switch Conmutador Couche mince Thin film Capa fina Diminution coût Cost lowering Reducción costes Dispositif microélectromécanique Microelectromechanical device Dispositivo microelectromecánico Déphaseur Phase shifter Desfasador Ferroélectrique Ferroelectric materials Material ferroeléctrico Guide onde coplanaire Coplanar waveguides Ligne retard Delay line Línea retardo Paramètre s s parameter Parámetro s Polymère Polymer Polímero Procédé fabrication Manufacturing process Procedimiento fabricación Retard phase Phase delay Retardo fase Tension polarisation Bias voltage Voltage polarización
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Conference Paper File Description: text Language: English Author Affiliations: Center of Excellence for Nano-, micro- and Neuro-Electronics, Sensors, and Systems Electrical Engineering Department University of Arkansas, Fayetteville, AR 72701, United States Rights: Copyright 2005 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Electronics

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Design and development of 3-bit polymer MEMS phase shifters