SOI-CMOS compatible low-power gas sensor using sputtered and drop-coated metal-oxide active layers

IVANOV, P ; LACONTE, J ; et al.

In: Special issue: Symposium on design, test, integration and packaging of MEMS/MOEMS, Montreux, Switzerland, 12-14 May 2004Microsystem technologies 12(1-2):160-168; Jg. 12 (2005) 1-2, S. 160-168

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In this paper, a Silicon-On-Insulator (SOI) solid-state gas-sensor with an original design of a polysilicon loop-shaped microheater fabricated on a thin-stacked dielectric membrane is presented. The microheater ensures high thermal uniformity and very low power consumption (25 mW for heating at 400°C). Sensitive films are based on tin and tungsten oxides deposited either by RF sputtering or drop coating methods. The fabricated sensors are tested to a wide variety of contaminant species and promising results are obtained. The use of completely CMOS compatible TMAH-based bulk micro-machining techniques during the fabrication process, allows easy smart gas sensor integration in SOI-CMOS technology. This makes SOI-based gas-sensing devices particularly attractive for use in handheld battery-operated gas monitors.

Titel:	SOI-CMOS compatible low-power gas sensor using sputtered and drop-coated metal-oxide active layers
Autor/in / Beteiligte Person:	IVANOV, P ; LACONTE, J ; RASKIN, J. P ; STANKOVA, M ; SOTTER, E ; LLOBET, E ; VILANOVA, X ; FLANDRE, D ; CORREIG, X
Link:	Full Text Finder (Volltext) E-Journal im Bestand der UB Hagen? View record from PASCAL Archive
Quelle:	Special issue: Symposium on design, test, integration and packaging of MEMS/MOEMS, Montreux, Switzerland, 12-14 May 2004Microsystem technologies 12(1-2):160-168; Jg. 12 (2005) 1-2, S. 160-168
Veröffentlichung:	Berlin: Springer, 2005
Medientyp:	Konferenz
Umfang:	print, 16 ref
ISSN:	0946-7076 (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Mechanical engineering Génie mécanique Metrology and instrumentation Métrologie et instrumentation Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Generalites General Instruments, appareillage, composants et techniques communs à plusieurs branches de la physique et de l'astronomie Instruments, apparatus, components and techniques common to several branches of physics and astronomy Techniques, équipements et instruments mécaniques Mechanical instruments, equipment and techniques Systèmes et dispositifs micromécaniques Micromechanical devices and systems Sciences appliquees Applied sciences Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Fabrication microélectronique (technologie des matériaux et des surfaces) Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Genie mecanique. Construction mecanique Mechanical engineering. Machine design Mécanique de précision. Horlogerie Precision engineering, watch making Capteur de gaz Gas sensors Capteur mesure Measurement sensor Captador medida Chauffage hyperfréquence Microwave heating Calentamiento hiperfrecuencia Consommation énergie Energy consumption Consumo energía Couche oxyde Oxide layer Capa óxido Dispositif état solide Solid state device Dispositivo estado sólido Diélectrique Dielectric materials Dieléctrico Détecteur de gaz Gas detector Detector de gas Elément chauffant Heating element Elemento calentador Etude expérimentale Experimental study Estudio experimental Goutte Drop Gota Processus fabrication Production process Proceso fabricación Puissance faible Low power Potencia débil Revêtement métallique Metal coating Revestimiento metálico Silicium polycristallin Polysilicon Silicio policristal Technologie MOS complémentaire Complementary MOS technology Tecnología MOS complementario Technologie silicium sur isolant Silicon on insulator technology Tecnología silicio sobre aislante
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Conference Paper File Description: text Language: English Author Affiliations: Department of Electronic Engineering, University Rovira i Virgili, avda. Paisos Catalans 26, 43007 Tarragona, Spain ; Research Center in Micro and Nanoscopic Electronics Devices and Materials (CeRMIN), UCL, 3, Place du Levant, 1348 Louvain-La-Neuve, Belgium Rights: Copyright 2006 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Electronics ; Mechanical engineering. Mechanical construction. Handling ; Metrology

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