Effect of H2 dilution on Cat-CVD a-SiC:H films

SWAIN, Bibhu P ; GUNDU RAO, T. K ; et al.

In: Proceedings of the Third International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process, Utrecht, The Netherlands, August 23-27, 2004Thin solid films 501(1-2):173-176; Jg. 501 (2006) 1-2, S. 173-176

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Effect of hydrogen (H2) dilution of the Silane (SiH4), acetylene (C2H2) gas mixture during the deposition of hydrogenated amorphous silicon carbon alloy (a-SiC:H) films by Cat-CVD process shows that the H2dilution induced additional carbon incorporation, leading to an increase of the carbon content in the films from 52% to 70% for the maximum H2 dilution employed. A slight increase in graphitic carbon in the films deposited with H2 dilution is also observed. A drastic increase in the optical band gap Eg from 2.5 eV for zero dilution to 3.5 eV is observed for a H2 dilution of 10 sccm. Raman spectra for the films deposited with increasing H2 dilution indicate structural changes in the amorphous network associated with increasing graphitic carbon.

Titel:	Effect of H2 dilution on Cat-CVD a-SiC:H films
Autor/in / Beteiligte Person:	SWAIN, Bibhu P ; GUNDU RAO, T. K ; ROY, Mainak ; GUPTA, Jagannath ; DUSANE, R. O
Link:	E-Journal im Bestand der UB Hagen? View record from PASCAL Archive
Quelle:	Proceedings of the Third International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process, Utrecht, The Netherlands, August 23-27, 2004Thin solid films 501(1-2):173-176; Jg. 501 (2006) 1-2, S. 173-176
Veröffentlichung:	Lausanne: Elsevier Science, 2006
Medientyp:	Konferenz
Umfang:	print, 24 ref
ISSN:	0040-6090 (print)
Schlagwort:	Crystallography Cristallographie cristallogenèse Electronics Electronique Metallurgy, welding Métallurgie, soudage Condensed state physics Physique de l'état condensé Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Etat condense: structure electronique, proprietes electriques, magnetiques et optiques Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Propriétés optiques, spectroscopie et autres interactions de la matière condensée avec les particules et le rayonnement Optical properties and condensed-matter spectroscopy and other interactions of matter with particles and radiation Photoluminescence Autres matériaux minéraux solides Other solid inorganic materials Domaines interdisciplinaires: science des materiaux; rheologie Cross-disciplinary physics: materials science; rheology Science des matériaux Materials science Méthodes de dépôt de films et de revêtements; croissance de films et épitaxie Methods of deposition of films and coatings; film growth and epitaxy Dépôt chimique en phase vapeur (incluant le cvd activé par plasma, mocvd, etc.) Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced cvd, mocvd, etc.) Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced CVD, MOCVD, etc.) Composé minéral Inorganic compounds Dépôt chimique phase vapeur CVD Etude expérimentale Experimental study Fil chaud Hot wire Hilo caliente Matériau amorphe hydrogéné Amorphous hydrogenated material Mode vibration Vibrational modes Méthode phase vapeur Growth from vapor Método fase vapor Préparation Preparation Preparación Silicium carbure Silicon carbides Spectre Raman Raman spectra Transformation phase Phase transformations Substrat Si Substrat verre a-SiC:H FTIR Hydrogen dilution TRPL XPS
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Conference Paper File Description: text Language: English Author Affiliations: Department of Metallurgical Engineering and Materials Science, Indian Institute of Technology, Bombay, India ; Regional Sophisticated Instrumentation Center, IIT Bombay, India ; Novel Materials and Structural Chemistry Division, Bhaba Atomic Research Center, Trombay, Mumbai, India ; TPPED, Bhaba Atomic Research Center, Trombay, Mumbai, India Rights: Copyright 2006 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Physics and materials science ; Physics of condensed state: electronic structure, electrical, magnetic and optical properties

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