Thick single crystal CVD diamond prepared from CH4-rich mixtures

BOGDAN, G ; DE CORTE, K ; et al.

In: Papers presented at the 11th International Workshop on Surface and Bulk Defects in CVD Diamond Films (SBBD XI), Diepenbeek-Hasselt, Belgium, 22-24 FebruaryPhysica status solidi. A, Applications and materials science (Print) 203(12):3063-3069; Jg. 203 (2006) 12, S. 3063-3069

Konferenz - print, 18 ref

Wie komme ich dran?

Recent interests in freestanding single-crystal CVD diamond (SC-CVD) discs for several applications in electronics led to an intense study of SC-CVD layer growth and properties. In this work we have investigated the growth mechanism of monocrystalline CVD diamond films with surfaces smooth in nanometer scale taking into account the defect incorporation in the SC-CVD layers. Specifically we discuss the surface structure characteristics for these conditions as studied with high-resolution AFM mapping. The as-grown CVD layers were removed from the substrate by laser cutting, followed by a polishing step, yielding freestanding plates. Subsequently, microscopic and colour studies as well as infrared absorption spectroscopy were performed. These investigations revealed the presence of several characteristic defects and impurities.

Titel:	Thick single crystal CVD diamond prepared from CH4-rich mixtures
Autor/in / Beteiligte Person:	BOGDAN, G ; DE CORTE, K ; DEFERME, W ; HAENEN, K ; NESLADEK, M
Link:	View record from PASCAL Archive
Quelle:	Papers presented at the 11th International Workshop on Surface and Bulk Defects in CVD Diamond Films (SBBD XI), Diepenbeek-Hasselt, Belgium, 22-24 FebruaryPhysica status solidi. A, Applications and materials science (Print) 203(12):3063-3069; Jg. 203 (2006) 12, S. 3063-3069
Veröffentlichung:	Berlin: Wiley-VCH, 2006
Medientyp:	Konferenz
Umfang:	print, 18 ref
ISSN:	1862-6300 (print)
Schlagwort:	Crystallography Cristallographie cristallogenèse Electronics Electronique Nanotechnologies, nanostructures, nanoobjects Nanotechnologies, nanostructures, nanoobjets Condensed state physics Physique de l'état condensé Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Domaines interdisciplinaires: science des materiaux; rheologie Cross-disciplinary physics: materials science; rheology Science des matériaux Materials science Méthodes de dépôt de films et de revêtements; croissance de films et épitaxie Methods of deposition of films and coatings; film growth and epitaxy Dépôt chimique en phase vapeur (incluant le cvd activé par plasma, mocvd, etc.) Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced cvd, mocvd, etc.) Diamant Diamonds Défaut Defects Dépôt chimique phase vapeur CVD Impureté Impurities Microscopie force atomique Atomic force microscopy Monocristal Monocrystals Mécanisme croissance Growth mechanism Mecanismo crecimiento Polissage Polishing Réseau cubique simple SC lattices Spectre IR Infrared spectra Spectre absorption Absorption spectra Surface lisse Smooth surface Superficie lisa 8115G
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Conference Paper File Description: text Language: English Author Affiliations: Institute for Materials Research (IMO), Hasselt University, Diepenbeek, Belgium ; HRD Research, Lier, Belgium ; Division IMOMEC, IMEC vzw, Diepenbeek, Belgium ; LIST (CEA-Recherche Technologique)/DETECS/SSTM/LTD, CEA/Saclay, Gif-sur-Yvette, France Rights: Copyright 2006 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Physics and materials science

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