Einzeltreffer — DigiBib

In this paper, we report on the integration of a spin-on low-k material (ENSEMBLE™ PMD) at the pre-metal dielectric (PMD) level of CMOS logic circuits processed using 0.13 μm node modules. Modifications to the conventional integration flow, where high-density plasma phospho-silicate glass (HDP-PSG) is used as PMD material, are made to the planarization steps and etch/strip sequence. Although on stand-alone transistors there is no measurable impact of the lower capacitance, a significant decrease of the switching delay of invertors in ring oscillator structures loaded with a metal/poly plate capacitor is observed. This demonstrates the possible positive impact of low-k on the performance of circuits of which the lowest level of back-end routing has a large overlap to underlying silicided areas.

Titel:	Integrating ENSEMBLE™ PMD low-k at the PMD level of CMOS logic circuits
Autor/in / Beteiligte Person:	DEMUYNCK, S ; DE MARNEFFE, J. F ; MILLS, L ; LE, Q. T ; VOS, I ; DEVRIENDT, K ; VAN HOVE, M ; WAETERLOOS, J ; HOWARD, K ; POPA, P ; WILSON, L
Link:	E-Journal im Bestand der UB Hagen? View record from PASCAL Archive
Quelle:	Microelectronic engineering 83(11-12):2303-2308; Jg. 83 (2006) 11-12, S. 2303-2308
Veröffentlichung:	Amsterdam: Elsevier Science, 2006
Medientyp:	Konferenz
Umfang:	print, 2 ref
ISSN:	0167-9317 (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Sciences appliquees Applied sciences Appareillage électronique et fabrication. Composants passifs, circuits imprimés, connectique Electronic equipment and fabrication. Passive components, printed wiring boards, connectics Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Transistors Circuits électriques, optiques et optoélectroniques Electric, optical and optoelectronic circuits Propriétés des circuits Circuit properties Circuits électroniques Electronic circuits Oscillateurs, résonateurs, synthétiseurs Oscillators, resonators, synthetizers Circuits numériques Digital circuits Capacité électrique Capacitance Capacitancia Circuit logique CMOS CMOS logic circuits Commutation Switching Conmutación Condensateur Capacitor Condensador Densité plasma Plasma density Densidad plasma Densité élevée High density Densidad elevada Dispersion mode polarisation Polarization mode dispersion Dispersión modo polarización Diélectrique basse permittivité Low k dielectric Dieléctrico baja constante dieléctrica Evaluation performance Performance evaluation Evaluación prestación Microassemblage Microassembling Micromontaje Onduleur Inverter Ondulador Oscillateur anneau Ring oscillator Oscilador anillo Planarisation Planarization Planarización Structure annulaire Ring structure Estructura anular Système autonome Autonomous system Sistema autónomo Temps retard Delay time Tiempo retardo Transistor Delay Low-κ Pre-metal dielectric Ring oscillator circuits
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Conference Paper File Description: text Language: English Author Affiliations: IMEC, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium ; The Dow Chemical Company, Midland MI, United States Rights: Copyright 2007 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Electronics

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Integrating ENSEMBLE™ PMD low-k at the PMD level of CMOS logic circuits