Silicon bench for passive coupling and packaging of high-frequency optoelectronic devices

YANG, H ; ZHU, H. L ; et al.

In: IEEE transactions on advanced packaging, Jg. 30 (2007), Heft 1, S. 34-37

Online academicJournal - print, 10 ref

Zugriff:

Volltext

Coupling and packaging have become decisive factors in the final performance and cost of high-frequency optoelectronic devices. Here, we report the design and successful fabrication of a silicon bench that integrates a V-groove and high-frequency coplanar waveguide (CPW) on the same high-resistivity silicon wafer as an effective optoelectronic packaging solution.

Titel:	Silicon bench for passive coupling and packaging of high-frequency optoelectronic devices
Autor/in / Beteiligte Person:	YANG, H ; ZHU, H. L ; XIE, H. Y ; ZHAO, L. J ; ZHOU, F ; WANG, W
Link:	Volltext View record from PASCAL Archive
Zeitschrift:	IEEE transactions on advanced packaging, Jg. 30 (2007), Heft 1, S. 34-37
Veröffentlichung:	Piscataway, NY: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2007
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 10 ref
ISSN:	1521-3323 (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Sciences appliquees Applied sciences Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Circuits intégrés Integrated circuits Conception. Technologies. Analyse fonctionnement. Essais Design. Technologies. Operation analysis. Testing Dispositifs optoélectroniques Optoelectronic devices Circuits électriques, optiques et optoélectroniques Electric, optical and optoelectronic circuits Propriétés des circuits Circuit properties Circuits optiques et optoélectroniques Optical and optoelectronic circuits Optoélectronique intégrée. Circuits optoélectroniques Integrated optoelectronics. Optoelectronic circuits Dispositif optoélectronique Optoelectronic device Dispositivo optoelectrónico Evaluation performance Performance evaluation Evaluación prestación Guide onde coplanaire Coplanar waveguides Haute fréquence High frequency Alta frecuencia Optoélectronique Optoelectronics Optoelectrónica Packaging électronique Electronic packaging Packaging electrónico Pastille électronique Wafer Pastilla electrónica Coplanar waveguide (CPW) V-groove high-frequency low microwave loss optoelectronic packaging passive coupling silicon bench
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: Optoelectronic R&D Center, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100864, China Rights: Copyright 2007 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Electronics

Klicken Sie ein Format an und speichern Sie dann die Daten oder geben Sie eine Empfänger-Adresse ein und lassen Sie sich per Email zusenden.

BibTeX Citavi, JabRef, u.a.
(Literaturverwaltung)

PDF kein Volltext!
(Merkzettel, Notizen)

RIS Endnote, Citavi u.a.
(Literaturverwaltung)

MODS
(XML zur Weiterverarbeitung)

oder

Wählen Sie das für Sie passende Zitationsformat und kopieren Sie es dann in die Zwischenablage, lassen es sich per Mail zusenden oder speichern es als PDF-Datei.

Gewünschter Zitations-Stil:

oder

Bitte prüfen Sie, ob die Zitation formal korrekt ist, bevor Sie sie in einer Arbeit verwenden. Benutzen Sie gegebenenfalls den "Exportieren"-Dialog, wenn Sie ein Literaturverwaltungsprogramm verwenden und die Zitat-Angaben selbst formatieren wollen.