Time-resolved evaporation rate of attoliter glycerine drops using on-chip CMOS mass sensors based on resonant silicon micro cantilevers

VILLARROYA GAUDO, Maria ; ABADAL, Gabriel ; et al.

In: IEEE transactions on nanotechnology, Jg. 6 (2007), Heft 5, S. 509-512

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-The time-resolved evaporation rate of small glycerine drops (in the attoliter range) is determined by means of a mass sensor based on a resonant cantilever integrated in a CMOS chip. The cantilever is fabricated on crystalline silicon, using silicon-on-insulator (SOI) substrates for the integration of the CMOS-MEMS. Glycerine drops are deposited at the free end of the cantilever. The high mass sensitivity of the sensor (8 ag/Hz) allows to determine the evaporation rate for glycerine drops smaller than 500 aL, which are found to be below 3.2 aL/s in volume or 4 fg/s in mass.

Titel:	Time-resolved evaporation rate of attoliter glycerine drops using on-chip CMOS mass sensors based on resonant silicon micro cantilevers
Autor/in / Beteiligte Person:	VILLARROYA GAUDO, Maria ; ABADAL, Gabriel ; VERD, Jaume ; TEVA, Jordi ; PEREZ-MURANO, Francesc ; COSTA, Eduardo Figueras ; MONTSERRAT, Josep ; URANGA, Arantxa ; ESTEVE, Jaume ; BARNIOL, Nuria
Link:	Volltext View record from PASCAL Archive
Zeitschrift:	IEEE transactions on nanotechnology, Jg. 6 (2007), Heft 5, S. 509-512
Veröffentlichung:	New York, NY: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2007
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 15 ref
ISSN:	1536-125X (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Nanotechnologies, nanostructures, nanoobjects Nanotechnologies, nanostructures, nanoobjets Optics Optique Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Generalites General Instruments, appareillage, composants et techniques communs à plusieurs branches de la physique et de l'astronomie Instruments, apparatus, components and techniques common to several branches of physics and astronomy Techniques et équipements généraux General equipment and techniques Capteurs (chimiques, optiques, électriques, de mouvement, de gaz, etc.); télédétection Sensors (chemical, optical, electrical, movement, gas, etc.); remote sensing Sciences appliquees Applied sciences Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Circuits intégrés Integrated circuits Conception. Technologies. Analyse fonctionnement. Essais Design. Technologies. Operation analysis. Testing Dispositifs micro- et nanoélectromécaniques (mems/nems) Micro- and nanoelectromechanical devices (mems/nems) Argent Silver Plata Capteur mesure Measurement sensor Captador medida Dispositif microélectromécanique Microelectromechanical device Dispositivo microelectromecánico Poutre cantilever Cantilever beam Viga cantilever Résolution temporelle Time resolution Resolución temporal Silicium Silicon Silicio Technologie MOS complémentaire Complementary MOS technology Tecnología MOS complementario Technologie silicium sur isolant Silicon on insulator technology Tecnología silicio sobre aislante 0707D Ag Al Intégration sur substrat Substrate integration Si Attoliter CMOS- MEMS cantilever based mass sensor dynamics of evaporation evaporation rate
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: Department de Enginyeria Electronica, Escola Técnica Superior d'enginyeria, Universitat Autonoma de Barcelona, 08193 Bellaterra, Spain ; Instituto de Microelectrónica de Barcelona, 08193 Bellaterra, Spain Rights: Copyright 2007 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Electronics ; Metrology

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