Einzeltreffer — DigiBib

We compare the level of deterioration in the basic functionality of individual transistors on ASIC chips fabricated in standard 130 nm bulk CMOS technology when subjected to three disparate CVD techniques with relatively low processing temperature to grow carbon nanostructures. We report that the growth technique with the lowest temperature has the least impact on the transistor behavior.

Titel:	Compatibility Assessment of CVD Growth of Carbon Nanofibers on Bulk CMOS Devices
Autor/in / Beteiligte Person:	GHAVANINI, Farzan A ; LE POCHE, Hélène ; BERG, Jonas ; SALEEM, Amin M ; KABIR, Mohammad S ; LUNDGREN, Per ; ENOKSSON, Peter
Link:	View record from PASCAL Archive
Zeitschrift:	Nano letters (Print), Jg. 8 (2008), Heft 8, S. 2437-2441
Veröffentlichung:	Washington, DC: American Chemical Society, 2008
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 29 ref
ISSN:	1530-6984 (print)
Schlagwort:	General chemistry, physical chemistry Chimie générale, chimie physique Crystallography Cristallographie cristallogenèse Nanotechnologies, nanostructures, nanoobjects Nanotechnologies, nanostructures, nanoobjets Condensed state physics Physique de l'état condensé Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Etat condense: structure, proprietes mecaniques et thermiques Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Surfaces et interfaces; couches minces et trichites (structure et propriétés non électroniques) Surfaces and interfaces; thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Structures de basse dimensionnalité (superréseaux, puits quantiques, multicouches): structure et propriétés non électroniques Low-dimensional structures (superlattices, quantum well structures, multilayers): structure, and nonelectronic properties Domaines interdisciplinaires: science des materiaux; rheologie Cross-disciplinary physics: materials science; rheology Science des matériaux Materials science Nanomatériaux et nanostructures : fabrication et caractèrisation Nanoscale materials and structures: fabrication and characterization Matériaux nanocristallins Nanocrystalline materials Méthodes de dépôt de films et de revêtements; croissance de films et épitaxie Methods of deposition of films and coatings; film growth and epitaxy Dépôt chimique en phase vapeur (incluant le cvd activé par plasma, mocvd, etc.) Chemical vapor deposition (including plasma-enhanced cvd, mocvd, etc.) Sciences appliquees Applied sciences Electronique Electronics Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Electronique moléculaire, nanoélectronique Molecular electronics, nanoelectronics Carbone Carbon Dépôt chimique phase vapeur CVD Mécanisme croissance Growth mechanism Mecanismo crecimiento Nanofibre Nanofiber Nanofibra Nanomatériau Nanostructured materials Nanostructure Nanostructures Puce électronique Chip Pulga electrónica Technologie MOS complémentaire Complementary MOS technology Tecnología MOS complementario Transistor Transistors 8107B 8115G Time: 6865 8535
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: Department of Microtechnology and Nanoscience, BioNano Systems Laboratory, Chalmers University of Technology, 41296 Goteborg, Sweden ; CEA Grenoble, LITEN/DTNM/LCH, 17 rue du Martyrs, 38054 Grenoble, France ; SMOLTEK AB, Stena Center 1D, 41292 Goteborg, Sweden Rights: Copyright 2008 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Electronics ; Physics and materials science ; Physics of condensed state: structure, mechanical and thermal properties

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Compatibility Assessment of CVD Growth of Carbon Nanofibers on Bulk CMOS Devices