Fabrication of microfluidic devices for packaging CMOS MEMS impedance sensors

JANG, Ling-Sheng ; WU, Chun-Ching ; et al.

In: Microfluidics and nanofluidics (Print), Jg. 7 (2009), Heft 6, S. 869-875

Online academicJournal - print, 1/2 p

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This work presents a polydimethylsiloxane (PDMS) microfluidic device for packaging CMOS MEMS impedance sensors. The wrinkle electrodes are fabricated on PDMS substrates to ensure a connection between the pads of the sensor and the impedance instrument. The PDMS device can tolerate an injection speed of 27.12 ml/h supplied by a pump. The corresponding pressure is 643.35 Pa. The bonding strength of the device is 32.44 g/mm2. In order to demonstrate the feasibility of the device, the short circuit test and impedance measurements for air, de-ionized water, phosphate buffered saline (PBS) at four concentrations (1, 2 x 10-4, 1 x 10-4, and 6.7 x 10-5 M) were performed. The experimental results show that the developed device integrated with a sensor can differentiate various samples.

Titel:	Fabrication of microfluidic devices for packaging CMOS MEMS impedance sensors
Autor/in / Beteiligte Person:	JANG, Ling-Sheng ; WU, Chun-Ching ; LIU, Chia-Feng
Link:	Full Text Finder (Volltext) View record from PASCAL Archive
Zeitschrift:	Microfluidics and nanofluidics (Print), Jg. 7 (2009), Heft 6, S. 869-875
Veröffentlichung:	Heidelberg: Springer, 2009
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 1/2 p
ISSN:	1613-4982 (print)
Schlagwort:	Biotechnology Biotechnologies Analytical chemistry Chimie analytique Mechanics acoustics Mécanique et acoustique Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Domaines classiques de la physique (y compris les applications) Fundamental areas of phenomenology (including applications) Mécanique des fluides Fluid dynamics Mécanique des fluides appliquée Applied fluid mechanics Fluidique Fluidics Sciences appliquees Applied sciences Electronique Electronics Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Dispositifs micro- et nanoélectromécaniques (mems/nems) Micro- and nanoelectromechanical devices (mems/nems) Mécanique fluide Fluid mechanics Mecánica flúido Biodétecteur Biosensor Biodetector Capteur chimique Chemical sensor Captador químico Dispositif microélectromécanique Microelectromechanical device Dispositivo microelectromecánico Fabrication Manufacturing Fabricación Microfluidique Microfluidics Microfluidic Microstructure Microestructura Siloxane(diméthyl) polymère Dimethylsiloxane polymer Siloxano(dimetil) polímero Système sur puce System on a chip Sistema sobre pastilla Technologie MOS complémentaire Complementary MOS technology Tecnología MOS complementario 4785N CMOS MEMS Impedance PDMS Package Time: 8585
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: Department of Electrical Engineering, Center for Micro/Nano Science and Technology, National Cheng Kung University, 1 University Road, Tainan 701, Tawain, Province of China Rights: Copyright 2015 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Electronics ; Physics: fluid mechanics

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