Integrated NiSi waveguide heaters for CMOS-compatible silicon thermo-optic devices

VAN CAMPENHOUT, Joris ; GREEN, William M. J ; et al.

In: Optics letters, Jg. 35 (2010), Heft 7, S. 1013-1015

academicJournal - print, 12 ref

Titel:	Integrated NiSi waveguide heaters for CMOS-compatible silicon thermo-optic devices
Autor/in / Beteiligte Person:	VAN CAMPENHOUT, Joris ; GREEN, William M. J ; ASSEFA, Solomon ; VLASOV, Yurii A
Link:	View record from PASCAL Archive
Zeitschrift:	Optics letters, Jg. 35 (2010), Heft 7, S. 1013-1015
Veröffentlichung:	Washington, DC: Optical Society of America, 2010
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 12 ref
ISSN:	0146-9592 (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Optics Optique Telecommunications Télécommunications Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Domaines classiques de la physique (y compris les applications) Fundamental areas of phenomenology (including applications) Eléments, dispositifs, et systèmes optiques Optical elements, devices, and systems Guides d'onde et coupleurs optiques Optical waveguides and coupleurs Guide onde optique Optical waveguides Silicium Silicon 4279G
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: IBM Research, T J. Watson Research Center, Yorktown Heights, New York 10598, United States Rights: Copyright 2015 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Physics: optics

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