Loss Measurement of Aluminum Thin-Film Coplanar Waveguide (CPW) Lines at Microwave Frequencies

RAMAZANI, Maliheh ; MILADI, Haddad ; et al.

In: I.E.E.E. transactions on electron devices, Jg. 57 (2010), Heft 8, S. 2037-2040

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To investigate coplanar waveguide (CPW) attenuation in monolithic microwave integrated circuits, measurements are carried out within 15-26 GHz on several CPW resonators with different metal thicknesses ranging from 200 to 2300 nm. In these experiments, the thin metal layers are made of aluminum. We will present a method for extracting the quality factor from the measured S-parameters of the CPW resonators.

Titel:	Loss Measurement of Aluminum Thin-Film Coplanar Waveguide (CPW) Lines at Microwave Frequencies
Autor/in / Beteiligte Person:	RAMAZANI, Maliheh ; MILADI, Haddad ; SHAHABADI, Mahmoud ; MOHAJERZADEH, Shamsoddin
Link:	Volltext View record from PASCAL Archive
Zeitschrift:	I.E.E.E. transactions on electron devices, Jg. 57 (2010), Heft 8, S. 2037-2040
Veröffentlichung:	New York, NY: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2010
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 9 ref
ISSN:	0018-9383 (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Sciences appliquees Applied sciences Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Circuits intégrés Integrated circuits Conception. Technologies. Analyse fonctionnement. Essais Design. Technologies. Operation analysis. Testing Circuits électriques, optiques et optoélectroniques Electric, optical and optoelectronic circuits Propriétés des circuits Circuit properties Circuits électroniques Electronic circuits Oscillateurs, résonateurs, synthétiseurs Oscillators, resonators, synthetizers Circuits hyperfréquences, circuits intégrés hyperfréquences, lignes de transmission hyperfréquences, circuits à ondes submillimétriques Microwave circuits, microwave integrated circuits, microwave transmission lines, submillimeter wave circuits Circuit MMIC MMIC Circuit intégré hyperfréquence Microwave integrated circuits Circuit intégré monolithique Monolithic integrated circuit Circuito integrado monolítico Couche mince métallique Metallic thin films Couche mince Thin film Capa fina Facteur qualité Q factor Factor calidad Guide onde coplanaire Coplanar waveguides Ligne coplanaire Coplanar line Línea coplanaria Mesure circuit intégré Integrated circuit measurement Paramètre s s parameter Parámetro s Résonateur Resonator Resonador Coplanar waveguide (CPW) microwave frequency monolithic microwave integrated circuits (MMICs) quality factor (Q-factor) thin metal film
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: Thin Film and Nanoelectronics Laboratory, School of Electrical and Computer Engineering, University of Tehran, 14174 Tehran, Iran, Islamic Republic of ; Photonics Research Laboratory, Center of Excellence on Electromagnetics Systems, School of Electrical and Computer Engineering, College of Engineering, University of Tehran, 14174 Tehran, Iran, Islamic Republic of ; Thin Film and Nanoelectronics Laboratory and the Nano-Electronic Center of Excellence, School of Electrical and Computer Engineering, College of Engineering, University of Tehran, 14174 Tehran, Iran, Islamic Republic of Rights: Copyright 2015 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Electronics

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