A two-dimensional micromachined accelerometer

AHMAD, H ; AL-KHALILI, A. J ; et al.

In: IEEE transactions on instrumentation and measurement, Jg. 46 (1997), Heft 1, S. 18-26

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A surface micromachined two-dimensional (2-D) accelerometer is designed and implemented in CMOS. The implementation requires the addition of three masking steps to a commercially available standard CMOS process. It has a ±100 g full range reading and better than 1% linearity within this range with a sensitivity of 0.5 mV/g. The signal detection circuitry is an on-chip switched capacitor charge transfer circuit operating on an internally generated 1 MHz four-phase nonoverlapping clock. The design takes into account the electrostatic forces, the damping force, and the applied force due to acceleration.

Titel:	A two-dimensional micromachined accelerometer
Autor/in / Beteiligte Person:	AHMAD, H ; AL-KHALILI, A. J ; LANDSBERGER, L. M ; KAHRIZI, M
Link:	Volltext View record from PASCAL Archive
Zeitschrift:	IEEE transactions on instrumentation and measurement, Jg. 46 (1997), Heft 1, S. 18-26
Veröffentlichung:	New York, NY: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 1997
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 18 ref
ISSN:	0018-9456 (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Physics Physique Telecommunications Télécommunications Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Generalites General Instruments, appareillage, composants et techniques communs à plusieurs branches de la physique et de l'astronomie Instruments, apparatus, components and techniques common to several branches of physics and astronomy Techniques et équipements généraux General equipment and techniques Capteurs (chimiques, optiques, électriques, de mouvement, de gaz, etc.); télédétection Sensors (chemical, optical, electrical, movement, gas, etc.); remote sensing Accéléromètre Accelerometers Analyse fonctionnement Operation study Análisis funcionamiento Capteur mesure Measurement sensor Captador medida Conception système System design Concepción sistema Dispositif électromécanique Electromechanical device Dispositivo electromecánico Mesure accélération Acceleration measurement Medición aceleración Microusinage Micromachining Micromaquinado Optimisation Optimization
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: Department of Electrical and Computer Engineering, Concordia University, Montreal, P.Q. H3G, Canada Rights: Copyright 1997 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Metrology

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