A CMOS MEMS Audio Transducer Implemented by Silicon Condenser Microphone With Analog Front-End Circuits of Audio Codec

CHIANG, Cheng-Ta ; WANG, Chih-Hsien ; et al.

In: IEEE transactions on very large scale integration (VLSI) systems, Jg. 20 (2012), Heft 9, S. 1656-1667

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This study proposes a CMOS MEMS audio transducer implemented by combining a silicon condenser microphone with analog front-end audio codec circuits. The proposed CMOS MEMS audio transducer is attractive because the sensor and all the circuits are robustly and compactly integrated. The overall size of the proposed device is much smaller than traditional electrets-condenser microphones (ECMs). Another innovation of the proposed CMOS MEMS audio transducer is that it can operate without any charge pump circuits, which overcomes the problem of requiring a high bias voltage. Measurement results confirm the correct functions and performance of the proposed CMOS MEMS audio transducer. The area of the proposed CMOS MEMS audio transducer is 1352 × 1410 μm2 and the FOM of the proposed sigma-delta modulator is 148 dB. The proposed CMOS MEMS audio transducer is suitable for audio devices, such as audio codecs.

Titel:	A CMOS MEMS Audio Transducer Implemented by Silicon Condenser Microphone With Analog Front-End Circuits of Audio Codec
Autor/in / Beteiligte Person:	CHIANG, Cheng-Ta ; WANG, Chih-Hsien ; WU, Chia-Yu
Link:	Volltext View record from PASCAL Archive
Zeitschrift:	IEEE transactions on very large scale integration (VLSI) systems, Jg. 20 (2012), Heft 9, S. 1656-1667
Veröffentlichung:	New York, NY: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2012
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 17 ref
ISSN:	1063-8210 (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Sciences appliquees Applied sciences Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Circuits intégrés Integrated circuits Conception. Technologies. Analyse fonctionnement. Essais Design. Technologies. Operation analysis. Testing Dispositifs micro- et nanoélectromécaniques (mems/nems) Micro- and nanoelectromechanical devices (mems/nems) Circuits électriques, optiques et optoélectroniques Electric, optical and optoelectronic circuits Propriétés des circuits Circuit properties Circuits électroniques Electronic circuits Circuits analogiques Analog circuits Matériel informatique Hardware Equipements d'entrée-sortie Input-output equipment Capteur mesure Measurement sensor Captador medida Circuit analogique Analog circuit Circuito analógico Codec Convertisseur tension Voltage converter Convertidor voltaje Dispositif microélectromécanique Microelectromechanical device Dispositivo microelectromecánico Evaluation performance Performance evaluation Evaluación prestación Haute tension High voltage Alta tensión Implémentation Implementation Implementación Innovation Innovación Interface utilisateur User interface Interfase usuario Micromachine Micromáquina Modulateur Modulator Modulador Modulation sigma delta Sigma-delta modulation Silicium Silicon Silicio Technologie MOS complémentaire Complementary MOS technology Tecnología MOS complementario Tension polarisation Bias voltage Voltage polarización Transducteur capacitif Capacitive transducer Transductor capacitivo 0707D -Audio codec CMOS audio transducer sensor interface silicon condenser microphone
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: Department of Electrical Engineering, National Chia-Yi University, Chiayi 600, Tawain, Province of China ; Measurement Techniques Laboratory, National Chiao Tung University, Hsinchu 310, Tawain, Province of China ; Microsystems Technology Center, Industrial Technology Research Institute, Hsinchu 310, Tawain, Province of China Rights: Copyright 2015 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Electronics

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