Electroplated nickel based micro-machined disk resonators for high frequency applications

RITESH RAY, CHAUDHURI ; BHATTACHARYYA, Tarun K

In: Microsystem technologies, Jg. 19 (2013), Heft 4, S. 525-535

Online academicJournal - print, 1/2 p

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Microelectromechanical system (MEMS) based resonators can be used for filtering and frequency synthesis applications in many subcomponents of radio frequency wireless integrated circuits due to their small size, high level of frequency selectivity, low cost batch fabrication, ease of integration with CMOS circuits. Electroplated nickel is an attractive low cost material for CMOS compatible MEMS due to their low deposition temperatures. Among the different modes of vibration, radial-contour mode resonators are preferred for high frequency applications because they offer higher effective stiffness. Two different types of electroplated nickel based radial-contour bulk-mode circular disk resonator geometries which depend on capacitive actuation and readout technique is presented in this work. Material, mechanical and electrical characterizations were performed on these structures to show their functionality.

Titel:	Electroplated nickel based micro-machined disk resonators for high frequency applications
Autor/in / Beteiligte Person:	RITESH RAY, CHAUDHURI ; BHATTACHARYYA, Tarun K
Link:	Full Text Finder (Volltext) E-Journal im Bestand der UB Hagen? View record from PASCAL Archive
Zeitschrift:	Microsystem technologies, Jg. 19 (2013), Heft 4, S. 525-535
Veröffentlichung:	Heidelberg: Springer, 2013
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 1/2 p
ISSN:	0946-7076 (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Mechanical engineering Génie mécanique Metrology and instrumentation Métrologie et instrumentation Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Generalites General Instruments, appareillage, composants et techniques communs à plusieurs branches de la physique et de l'astronomie Instruments, apparatus, components and techniques common to several branches of physics and astronomy Techniques et équipements généraux General equipment and techniques Transducteurs Transducers Techniques, équipements et instruments mécaniques Mechanical instruments, equipment and techniques Systèmes et dispositifs micromécaniques Micromechanical devices and systems Actionneur Actuators Alliage base nickel Nickel base alloys Circuit intégré Integrated circuits Dispositif microélectromécanique Microelectromechanical device Dispositivo microelectromecánico Dépôt électrolytique Electrodeposition Electronique de mesure Readout electronics Fréquence résonance Resonance frequency Frecuencia resonancia Haute fréquence High frequency Alta frecuencia Microusinage Micromachining Modèle mécanique Mechanical model Modelo mecánico Modèle électrique Electrical model Modelo eléctrico Réseau sans fil Wireless network Red sin hilo Résonateur disque Disk resonator Resonador disco Spectrométrie dispersive Dispersive spectrometry Espectrometría dispersiva Technologie MOS complémentaire Complementary MOS technology Tecnología MOS complementario Transducteur capacitif Capacitive transducer Transductor capacitivo
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: Advanced Technology Development Centre, Indian Institute of Technology, Kharagpur, India ; Department of Electronics and Electrical Communication Engineering, Indian Institute of Technology, Kharagpur, India Rights: Copyright 2014 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Metrology

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