Einzeltreffer — DigiBib

MEMS technology offers a very attractive alternative for applications in microwave systems. However, commonly used micro-electromechanical electrostatically driven switches require relatively high operation voltages. We have developed thermally actuated cantilevers which operate at lower voltages. Our approach for the fabrication of U-shaped bimetal micro-cantilevers is based on Au/Nb bilayers within a CMOS compatible room temperature process. For microwave switch applications the MEMS structures have been integrated into coplanar waveguide (CPW) structures. In order to reduce the high power consumption of a purely thermally activated switch, the thermal actuation scheme was combined with electrostatic actuation. Our combined switch requires an operation voltage of 15 V, the power consumption was found to be about 80 μJ/switch cycle.

Titel:	U-shaped bimorph micro-electromechanical cantilevers with combined thermal/electrostatic actuation
Autor/in / Beteiligte Person:	PANAITOV, Gregory ; KLEIN, Norbert ; TRELLENKAMP, Stefan
Link:	E-Journal im Bestand der UB Hagen? View record from PASCAL Archive
Zeitschrift:	Microelectronic engineering, Jg. 112 (2013), S. 126-129
Veröffentlichung:	Amsterdam: Elsevier, 2013
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 9 ref
ISSN:	0167-9317 (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Generalites General Instruments, appareillage, composants et techniques communs à plusieurs branches de la physique et de l'astronomie Instruments, apparatus, components and techniques common to several branches of physics and astronomy Techniques et équipements généraux General equipment and techniques Transducteurs Transducers Techniques, équipements et instruments mécaniques Mechanical instruments, equipment and techniques Systèmes et dispositifs micromécaniques Micromechanical devices and systems Sciences appliquees Applied sciences Informatique; automatique theorique; systemes Computer science; control theory; systems Automatique théorique. Systèmes Control theory. Systems Robotique Robotics Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Dispositifs micro- et nanoélectromécaniques (mems/nems) Micro- and nanoelectromechanical devices (mems/nems) Actionneur électrostatique Electrostatic actuators Activation thermique Thermal activation Termoactivación Appareillage électromécanique Electromechanical switch Instrumentation electromecánico Bicouche Bilayers Commutateur hyperfréquence Microwave switches Commutation électromécanique Electromechanical switching Conmutación electromecánica Consommation électricité Electric power consumption Consumo electricidad Consommation énergie Energy consumption Consumo energía Dispositif hyperfréquence Microwave device Dispositivo hiperfrecuencia Dispositif microélectromécanique Microelectromechanical device Dispositivo microelectromecánico Dispositif électrostatique Electrostatic devices Energie activation Activation energy Energía activación Force électrostatique Electrostatic force Fuerza electrostática Forme en U U shape Forma de una U Grande puissance High power Gran potencia Guide onde coplanaire Coplanar waveguides Haute tension High voltage Alta tensión Hyperfréquence Microwave Hiperfrecuencia Micromachine Micromáquina Poutre cantilever Cantilever beam Viga cantilever Technologie MOS complémentaire Complementary MOS technology Tecnología MOS complementario Température ambiante Room temperature Temperatura ambiente Transducteur bimorphe Bimorph transducer Transductor bicapa Transducteur capacitif Capacitive transducer Transductor capacitivo Transducteur thermique Thermal transducer Transductor térmico Cantilever MEMS Microwave switch
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: Peter Grünberg Institute (PGI-8), Forschungszentrum Jülich, 52425 Jülich, Germany ; Imperial College London, Department of Materials, South Kensington Campus, London SW7 2AZ, United Kingdom Rights: Copyright 2014 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Computer science; theoretical automation; systems ; Electronics ; Metrology

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U-shaped bimorph micro-electromechanical cantilevers with combined thermal/electrostatic actuation