Einzeltreffer — DigiBib

We describe a silicon nanowire (SiNW) biosensor fabricated in a fully depleted SOI CMOS process. The sensor array consists of N by N pixel matrix (N2 pixels or test sites) and 8 input-output (I/O) pins. In each pixel a single crystalline SiNW with 75 by 20 nm cross-section area is defined using sidewall transfer lithography in the SOI layer. The key advantage of the design is that each individual SiNWs can be read-out sequentially and used for real-time charge based detection of molecules in liquids or gases.

Titel:	Silicon nanowires integrated with CMOS circuits for biosensing application
Autor/in / Beteiligte Person:	JAYAKUMAR, G ; ASADOLLAHI, A ; HELLSTRÖM, P.-E ; GARIDIS, K ; ÖSTLING, M
Link:	E-Journal im Bestand der UB Hagen? View record from PASCAL Archive
Zeitschrift:	Solid-state electronics, Jg. 98 (2014), S. 26-31
Veröffentlichung:	Kidlington: Elsevier, 2014
Medientyp:	academicJournal
Umfang:	print, 18 ref
ISSN:	0038-1101 (print)
Schlagwort:	Electronics Electronique Sciences exactes et technologie Exact sciences and technology Physique Physics Domaines interdisciplinaires: science des materiaux; rheologie Cross-disciplinary physics: materials science; rheology Science des matériaux Materials science Nanomatériaux et nanostructures : fabrication et caractèrisation Nanoscale materials and structures: fabrication and characterization Fils quantiques Quantum wires Sciences appliquees Applied sciences Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Circuits intégrés Integrated circuits Conception. Technologies. Analyse fonctionnement. Essais Design. Technologies. Operation analysis. Testing Fabrication microélectronique (technologie des matériaux et des surfaces) Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Sciences biologiques et medicales Biological and medical sciences Sciences biologiques fondamentales et appliquees. Psychologie Fundamental and applied biological sciences. Psychology Biotechnologie Biotechnology Méthodes. Procédés. Technologies Methods. Procedures. Technologies Méthodes et appareillages divers Various methods and equipments Biodétecteurs. Biocapteurs Biosensors Biodétecteur Biosensor Biodetector Circuit intégré CMOS CMOS integrated circuits Circuit intégré Integrated circuit Circuito integrado Couche appauvrissement Depletion layer Capa empobrecimiento Fabrication microélectronique Microelectronic fabrication Fabricación microeléctrica Lithographie Lithography Litografía Monocristal Single crystal Nanofil Nanowires Réseau capteur Sensor array Red sensores Silicium Silicon Silicio Technologie MOS complémentaire Complementary MOS technology Tecnología MOS complementario Technologie silicium sur isolant Silicon on insulator technology Tecnología silicio sobre aislante 8107V Biosensing CMOS Nanowire SOI STL
Sonstiges:	Nachgewiesen in: PASCAL Archive Sprachen: English Original Material: INIST-CNRS Document Type: Article File Description: text Language: English Author Affiliations: School of lCT, KTH Royal Institute of Technology, Kista, Sweden Rights: Copyright 2015 INIST-CNRS ; CC BY 4.0 ; Sauf mention contraire ci-dessus, le contenu de cette notice bibliographique peut être utilisé dans le cadre d’une licence CC BY 4.0 Inist-CNRS / Unless otherwise stated above, the content of this bibliographic record may be used under a CC BY 4.0 licence by Inist-CNRS / A menos que se haya señalado antes, el contenido de este registro bibliográfico puede ser utilizado al amparo de una licencia CC BY 4.0 Inist-CNRS Notes: Biotechnology ; Electronics ; Physics and materials science

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Silicon nanowires integrated with CMOS circuits for biosensing application