Carbure de silicium et silicium obtenus par CVD
In: L' Industrie céramique (Paris), 1992, Heft 875, S. 678-679
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On présente les propriétés physiques et mécaniques du carbure de silicium bêta polycristallin et du silicium polycristallin obtenus par dépôt chimique en phase vapeur et destinés à des applications optiques, thermomécaniques, etc.
Titel: |
Carbure de silicium et silicium obtenus par CVD
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Verantwortlichkeitsangabe: | Silicon carbide and silicon obtained by CVD |
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Zeitschrift: | L' Industrie céramique (Paris), 1992, Heft 875, S. 678-679 |
Veröffentlichung: | Paris: Société d'éditions scientifiques, techniques et artistiques, 1992 |
Medientyp: | academicJournal |
Umfang: | print, |
ISSN: | 0019-9044 (print) |
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