WZO薄膜生长及氧流量对其特性的影响

张翅陈新亮王斐闫聪博黄茜赵颖张晓丹耿新华

In: 光电子．激光 / Journal of Optoelectronics·laser, Jg. 23 (2012), Heft 7, S. 1319

academicJournal

Titel:	WZO薄膜生长及氧流量对其特性的影响
Autor/in / Beteiligte Person:	张翅陈新亮王斐闫聪博黄茜赵颖张晓丹耿新华
Link:	http://lib.cqvip.com/qk/92586A/201207/42516559.html
Zeitschrift:	光电子．激光 / Journal of Optoelectronics·laser, Jg. 23 (2012), Heft 7, S. 1319
Veröffentlichung:	2012
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	1005-0086 (print)
Sonstiges:	Nachgewiesen in: China Science & Technology Journal Database Alternate Title: Growth of WZO thin films and the effect of oxygen flow rate on the film characteristics

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