圆柱形单模MPCVD装置的数值模拟与实验研究

刘繁翁俊汪建华孙祁

In: 金刚石与磨料磨具工程 / Diamond ＆ Abrasives Engineering, Jg. 37 (2017), Heft 2, S. 50

academicJournal

Titel:	圆柱形单模MPCVD装置的数值模拟与实验研究
Autor/in / Beteiligte Person:	刘繁翁俊汪建华孙祁
Link:	http://lib.cqvip.com/qk/94182A/201702/672135096.html
Zeitschrift:	金刚石与磨料磨具工程 / Diamond ＆ Abrasives Engineering, Jg. 37 (2017), Heft 2, S. 50
Veröffentlichung:	2017
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	1006-852X (print)
Sonstiges:	Nachgewiesen in: China Science & Technology Journal Database Alternate Title: Simulation and experimental study on a cylindrical single-mode microwave plasma CVD device

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