基于SP-LNS-KNN的半导体生产过程故障检测方法研究

冯立伟;张成;谢彦红;李元;逄玉俊

In: 计算机应用研究 / Application Research of Computers, Jg. 35 (2018), Heft 11, S. 3307

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Titel:	基于SP-LNS-KNN的半导体生产过程故障检测方法研究
Autor/in / Beteiligte Person:	冯立伟;张成;谢彦红;李元;逄玉俊
Link:	Volltext (PDF) http://qikan.cqvip.com/article/detail.aspx?id=7000898882&from=journal_article
Zeitschrift:	计算机应用研究 / Application Research of Computers, Jg. 35 (2018), Heft 11, S. 3307
Veröffentlichung:	2018
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	1001-3695 (print)
Sonstiges:	Nachgewiesen in: China Science & Technology Journal Database Alternate Title: SP-LNS-KNN-based fault detection method for multimode batch process

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