CVD金刚石薄膜亚表面层氢杂质对表面活化反应的影响

简小刚;唐金垚;马千里;胡吉博;尹明睿

In: 人工晶体学报 / Journal of Synthetic Crystals, Jg. 50 (2021), Heft 2, S. 302

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Titel:	CVD金刚石薄膜亚表面层氢杂质对表面活化反应的影响
Autor/in / Beteiligte Person:	简小刚;唐金垚;马千里;胡吉博;尹明睿
Link:	Volltext (PDF) http://qikan.cqvip.com/article/detail.aspx?id=7104105467&from=journal_article
Zeitschrift:	人工晶体学报 / Journal of Synthetic Crystals, Jg. 50 (2021), Heft 2, S. 302
Veröffentlichung:	2021
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	1000-985X (print)
Sonstiges:	Nachgewiesen in: China Science & Technology Journal Database Alternate Title: Influence of Hydrogen Impurities in the Subsurface of CVD Diamond Films on Surface Activation Reaction

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