CMOS MEMS Fabrication Technologies
In: Encyclopedia of Nanotechnology; (2012)
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Titel: |
CMOS MEMS Fabrication Technologies
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Autor/in / Beteiligte Person: | Hongwei, Qu ; Huikai, Xie |
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Quelle: | Encyclopedia of Nanotechnology; (2012) |
Veröffentlichung: | 2012 |
Medientyp: | E-Book |
ISBN: | 978-90-481-9750-7 (print) |
Sonstiges: |
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