分子イオン注入技術によりゲッタリング能力を付与した高感度CMOSイメージセンサ向けSiウェーハ
2023
Online
Hochschulschrift
Titel: |
分子イオン注入技術によりゲッタリング能力を付与した高感度CMOSイメージセンサ向けSiウェーハ
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Autor/in / Beteiligte Person: | 門野, 武 |
Link: | |
Veröffentlichung: | 2023 |
Medientyp: | Hochschulschrift |
Sonstiges: |
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