High-Quality Nanocrystalline Silicon (nc-Si:H) Thin Film With Mixed-Phase and Its Application of Circulating Tumor Cell DEP Biochip

Lin, Y. ; Wu, H. ; et al.

In: IEEE Access, Jg. 11 (2023), S. 16057-16065

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Titel:	High-Quality Nanocrystalline Silicon (nc-Si:H) Thin Film With Mixed-Phase and Its Application of Circulating Tumor Cell DEP Biochip
Autor/in / Beteiligte Person:	Lin, Y. ; Wu, H. ; Lin, J. ; Tien, W. ; Hung, C. ; Chang, S. ; Liu, R.
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Zeitschrift:	IEEE Access, Jg. 11 (2023), S. 16057-16065
Veröffentlichung:	2023
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	2169-3536 (print)
DOI:	10.1109/ACCESS.2023.3245884
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library

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