Performance Variation With Changes in Ultrathin Ge Film Thickness of Self-Aligned Double-Gate Cu-MIC Low-Temperature Poly-Ge TFTs on Glass Substrates

Suzuki, Sho ; Hara, Akito

In: 7th IEEE Electron Devices Technology & Manufacturing Conference (EDTM); (2023-03-07) S. 1-3

Konferenz

Titel:	Performance Variation With Changes in Ultrathin Ge Film Thickness of Self-Aligned Double-Gate Cu-MIC Low-Temperature Poly-Ge TFTs on Glass Substrates
Autor/in / Beteiligte Person:	Suzuki, Sho ; Hara, Akito
Quelle:	7th IEEE Electron Devices Technology & Manufacturing Conference (EDTM); (2023-03-07) S. 1-3
Veröffentlichung:	2023
Medientyp:	Konferenz
ISBN:	979-8-3503-3252-0 (print)
DOI:	10.1109/EDTM55494.2023.10103105
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library

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