Comparison of electrical and reliability characteristics of different 14 /spl Aring/ oxynitride gate dielectrics

Pan, Tung-Ming ; Lin, Hsiu-Shan ; et al.

In: IEEE Electron Device Letters, Jg. 23 (2002-07-01), Heft 7, S. 416-418

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Titel:	Comparison of electrical and reliability characteristics of different 14 /spl Aring/ oxynitride gate dielectrics
Autor/in / Beteiligte Person:	Pan, Tung-Ming ; Lin, Hsiu-Shan ; Chen, Main-Gwo ; Liu, Chuan-Hsi ; Chang, Yih-Jau
Link:	Volltext
Zeitschrift:	IEEE Electron Device Letters, Jg. 23 (2002-07-01), Heft 7, S. 416-418
Veröffentlichung:	2002
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	0741-3106 (print) ; 1558-0563 (print)
DOI:	10.1109/LED.2002.1015223
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library

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