Graphene Cap Formation on Nickel Thin Films by Thermal CVD at Low Temperature

Tenmyo, Yumehito ; Hasumi, Reno ; et al.

In: IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) and IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (MAM)(IITC/MAM); (2023-05-01) S. 1-3

Konferenz

Wie komme ich dran?

Titel:	Graphene Cap Formation on Nickel Thin Films by Thermal CVD at Low Temperature
Autor/in / Beteiligte Person:	Tenmyo, Yumehito ; Hasumi, Reno ; Ueno, Kazuyoshi
Quelle:	IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) and IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (MAM)(IITC/MAM); (2023-05-01) S. 1-3
Veröffentlichung:	2023
Medientyp:	Konferenz
ISBN:	979-8-3503-1097-9 (print)
ISSN:	2380-6338 (print)
DOI:	10.1109/IITC/MAM57687.2023.10154774
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library

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