Novel Channel-on-Fin (COF) IGZO-TFTS With Ultra-Scaled Back Gate Length of 23 NM

Yang, Shangbo ; Xu, Gaobo ; et al.

In: China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC); (2023-06-26) S. 1-3

Konferenz

Titel:	Novel Channel-on-Fin (COF) IGZO-TFTS With Ultra-Scaled Back Gate Length of 23 NM
Autor/in / Beteiligte Person:	Yang, Shangbo ; Xu, Gaobo ; Yan, Gangping ; Song, Zhiyu ; Tian, Guoliang ; Luo, Yanna ; Yan, Yinan ; Li, Lianlian ; Yin, Huaxiang
Quelle:	China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC); (2023-06-26) S. 1-3
Veröffentlichung:	2023
Medientyp:	Konferenz
ISBN:	979-8-3503-1100-6 (print) ; 979-8-3503-1099-3 (print)
DOI:	10.1109/CSTIC58779.2023.10219386
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library

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