Reconfigurable ferroelectric hafnium oxide FeFET fabricated in 28 nm CMOS technology for mmWave applications

Abdulazhanov, Sukhrob ; Le, Quang Huy ; et al.

In: ESSDERC 2023 - IEEE 53rd European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC); (2023-09-11) S. 113-116

Konferenz

Titel:	Reconfigurable ferroelectric hafnium oxide FeFET fabricated in 28 nm CMOS technology for mmWave applications
Autor/in / Beteiligte Person:	Abdulazhanov, Sukhrob ; Le, Quang Huy ; Khoa Huynh, Dang ; Lederer, Maximilian ; Raffel, Yannick ; Ni, Kai ; Yin, Xunzhao ; Kampfe, Thomas ; Gerlach, Gerald
Quelle:	ESSDERC 2023 - IEEE 53rd European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC); (2023-09-11) S. 113-116
Veröffentlichung:	2023
Medientyp:	Konferenz
ISBN:	979-8-3503-0423-7 (print) ; 979-8-3503-0422-0 (print)
ISSN:	2378-6558 (print)
DOI:	10.1109/ESSDERC59256.2023.10268544
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library

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