Study on Mechanical Properties of Rice Husk Fiber-Based Polishing Pad for Chemical Mechanical Polishing of Sapphire Substrate

Ketsuwan, Mighttho ; Bun-Athuek, Natthaphon ; et al.

In: 1st International Conference on Robotics, Engineering, Science, and Technology (RESTCON); (2024-02-16) S. 214-217

Konferenz

Titel:	Study on Mechanical Properties of Rice Husk Fiber-Based Polishing Pad for Chemical Mechanical Polishing of Sapphire Substrate
Autor/in / Beteiligte Person:	Ketsuwan, Mighttho ; Bun-Athuek, Natthaphon ; Sukhawipat, Nathapong ; Boripatkosol, Siriwan ; Parung, Chanthapichaya
Quelle:	1st International Conference on Robotics, Engineering, Science, and Technology (RESTCON); (2024-02-16) S. 214-217
Veröffentlichung:	2024
Medientyp:	Konferenz
ISBN:	979-8-3503-4884-2 (print)
DOI:	10.1109/RESTCON60981.2024.10463580
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library

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