Performance-Enhanced CMOS Polysilicon Microbolometer with Narrow Supporting Arms

Zhou, Wenbin ; Guo, Yaozu ; et al.

In: Conference of Science and Technology for Integrated Circuits (CSTIC); (2024-03-17) S. 1-4

Konferenz

Titel:	Performance-Enhanced CMOS Polysilicon Microbolometer with Narrow Supporting Arms
Autor/in / Beteiligte Person:	Zhou, Wenbin ; Guo, Yaozu ; Lan, Jiang ; Zhai, Yuhao ; Wang, Ke
Quelle:	Conference of Science and Technology for Integrated Circuits (CSTIC); (2024-03-17) S. 1-4
Veröffentlichung:	2024
Medientyp:	Konferenz
ISBN:	979-8-3503-6219-0 (print)
DOI:	10.1109/CSTIC61820.2024.10532007
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library

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