Parameter identification for model-based advanced process control of diffusion furnaces

Hui, K. ; Lu, C.S.

In: Semiconductor Manufacturing Technology Workshop; (2002) S. 136-139

Konferenz

Titel:	Parameter identification for model-based advanced process control of diffusion furnaces
Autor/in / Beteiligte Person:	Hui, K. ; Lu, C.S.
Quelle:	Semiconductor Manufacturing Technology Workshop; (2002) S. 136-139
Veröffentlichung:	2002
Medientyp:	Konferenz
ISBN:	0-7803-7604-8 (print) ; 978-0-7803-7604-5 (print)
DOI:	10.1109/SMTW.2002.1197393
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library Relation: 2002 Semiconductor Manufacturing Technology Workshop

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