Hot-wire CVD grown microcrystalline silicon films with and without initial growing layer modification by inductive coupled plasma

Kim, D.Y. ; Moon, S.I. ; et al.

In: 30th International Conference on Plasma Science; (2003) S. 229-229

Konferenz

Titel:	Hot-wire CVD grown microcrystalline silicon films with and without initial growing layer modification by inductive coupled plasma
Autor/in / Beteiligte Person:	Kim, D.Y. ; Moon, S.I. ; Seo, C.K. ; Yi, J.S.
Quelle:	30th International Conference on Plasma Science; (2003) S. 229-229
Veröffentlichung:	2003
Medientyp:	Konferenz
ISBN:	0-7803-7911-X (print) ; 978-0-7803-7911-4 (print)
ISSN:	0730-9244 (print)
DOI:	10.1109/PLASMA.2003.1228734
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library Relation: 30th International Conference on Plasma Science

Klicken Sie ein Format an und speichern Sie dann die Daten oder geben Sie eine Empfänger-Adresse ein und lassen Sie sich per Email zusenden.

BibTeX Citavi, JabRef, u.a.
(Literaturverwaltung)

PDF kein Volltext!
(Merkzettel, Notizen)

RIS Endnote, Citavi u.a.
(Literaturverwaltung)

MODS
(XML zur Weiterverarbeitung)

oder

Wählen Sie das für Sie passende Zitationsformat und kopieren Sie es dann in die Zwischenablage, lassen es sich per Mail zusenden oder speichern es als PDF-Datei.

Gewünschter Zitations-Stil:

oder

Bitte prüfen Sie, ob die Zitation formal korrekt ist, bevor Sie sie in einer Arbeit verwenden. Benutzen Sie gegebenenfalls den "Exportieren"-Dialog, wenn Sie ein Literaturverwaltungsprogramm verwenden und die Zitat-Angaben selbst formatieren wollen.