Effect of Annealing and Electron Irradiation on Young's Modulus of Amorphous Carbon Pillars Grown by FIB-CVD

Ueki, Ryuichi ; Fujita, Jun-ichi ; et al.

In: Digest of Papers Microprocesses and Nanotechnology; (2007-11-01) S. 168

Konferenz

Titel:	Effect of Annealing and Electron Irradiation on Young's Modulus of Amorphous Carbon Pillars Grown by FIB-CVD
Autor/in / Beteiligte Person:	Ueki, Ryuichi ; Fujita, Jun-ichi ; Ichihashi, Toshinari ; Kaito, Takashi ; Matsui, Shinji
Quelle:	Digest of Papers Microprocesses and Nanotechnology; (2007-11-01) S. 168
Veröffentlichung:	2007
Medientyp:	Konferenz
ISBN:	978-4-9902472-4-9 (print)
DOI:	10.1109/IMNC.2007.4456157
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library Relation: 2007 Digest of Papers Microprocesses and Nanotechnology

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