A transfer-free wafer-scale CVD graphene fabrication process for MEMS/NEMS sensors

Vollebregt, S. ; Alfano, B. ; et al.

In: IEEE 29th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS); (2016) S. 17-20

Konferenz

Titel:	A transfer-free wafer-scale CVD graphene fabrication process for MEMS/NEMS sensors
Autor/in / Beteiligte Person:	Vollebregt, S. ; Alfano, B. ; Ricciardella, F. ; Giesbers, A. J. M. ; Grachova, Y. ; van Zeijl, H. W. ; Polichetti, T. ; Sarro, P. M.
Quelle:	IEEE 29th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS); (2016) S. 17-20
Veröffentlichung:	2016
Medientyp:	Konferenz
ISBN:	978-1-5090-1973-1 (print) ; 978-1-5090-1972-4 (print)
DOI:	10.1109/MEMSYS.2016.7421546
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library

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