Membrane-Heater-Integrated LSI for On-Site Annealing-Recovery from 20 KGY Gamma Ray Irradiation Damage

Gong, Tianjiao ; Suzuki, Yukio ; et al.

In: IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS); (2021-01-25) S. 1051-1054

Konferenz

Titel:	Membrane-Heater-Integrated LSI for On-Site Annealing-Recovery from 20 KGY Gamma Ray Irradiation Damage
Autor/in / Beteiligte Person:	Gong, Tianjiao ; Suzuki, Yukio ; Takeyama, Akinori ; Ohshima, Takeshi ; Tanaka, Shuji
Quelle:	IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS); (2021-01-25) S. 1051-1054
Veröffentlichung:	2021
Medientyp:	Konferenz
ISBN:	978-1-6654-1912-3 (print)
ISSN:	2160-1968 (print)
DOI:	10.1109/MEMS51782.2021.9375332
Sonstiges:	Nachgewiesen in: IEEE Xplore Digital Library

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